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【求助】大家用硅片旋涂的时候处理上面的氧化层吗?
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| 看到文献上都说在Si片上旋涂,可是我有一事不明白,硅片上不是有一层自然的氧化层吗?要把这层氧化层处理掉吗?不处理可以吗?也有文献上说在SiO2/Si上旋涂,把硅片热氧化上一层SiO2,我不知道我是应该把上面的氧化层处理掉呢还是要热氧化上一层SiO2呢?如果处理氧化层的话要用什么呢? |
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2楼2011-04-04 21:30:57
3楼2011-04-24 21:40:46
4楼2011-04-25 00:15:14
5楼2011-04-26 19:06:32
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小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
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6楼2014-04-22 18:41:49










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