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[交流]
【求助】大家用硅片旋涂的时候处理上面的氧化层吗？
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看到文献上都说在Si片上旋涂，可是我有一事不明白，硅片上不是有一层自然的氧化层吗？要把这层氧化层处理掉吗？不处理可以吗？也有文献上说在SiO2/Si上旋涂，把硅片热氧化上一层SiO2，我不知道我是应该把上面的氧化层处理掉呢还是要热氧化上一层SiO2呢？如果处理氧化层的话要用什么呢？ |
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