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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 交流探讨 » 【求助】大家用硅片旋涂的时候处理上面的氧化层吗？
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小小蕾蕾

金虫 (小有名气)

[交流] 【求助】大家用硅片旋涂的时候处理上面的氧化层吗？

看到文献上都说在Si片上旋涂，可是我有一事不明白，硅片上不是有一层自然的氧化层吗？要把这层氧化层处理掉吗？不处理可以吗？也有文献上说在SiO2/Si上旋涂，把硅片热氧化上一层SiO2，我不知道我是应该把上面的氧化层处理掉呢还是要热氧化上一层SiO2呢？如果处理氧化层的话要用什么呢？
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1楼 2011-04-04 21:28:48
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ev87

金虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
小小蕾蕾(金币+1): 2011-04-27 14:25:49
SiO 通俗来说就是Si片吧，我想是你想太多了吧。。
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4楼2011-04-25 00:15:14
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小小蕾蕾

金虫 (小有名气)
还有我要是不处理的话那算是在SiO2/Si基片上旋涂吧？
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2楼2011-04-04 21:30:57
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小小蕾蕾

金虫 (小有名气)
怎么没有人回呢？
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3楼2011-04-24 21:40:46
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紫荆空间

银虫 (著名写手)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
小小蕾蕾(金币+3): 2011-04-27 14:25:56
Missile521(金币+1): 欢迎交流！ 2011-04-27 20:21:25
引用回帖:
Originally posted by 小小蕾蕾 at 2011-04-04 21:28:48:
看到文献上都说在Si片上旋涂，可是我有一事不明白，硅片上不是有一层自然的氧化层吗？要把这层氧化层处理掉吗？不处理可以吗？也有文献上说在SiO2/Si上旋涂，把硅片热氧化上一层SiO2，我不知道我是应该把上面的氧 ...

实际上就算Si表面没有SiO2层，利用溶胶凝胶涂膜厚再热处理就会产生SiO2层的。所以一般情况下不用把SiO2层腐蚀掉，当然你也可以把涂在Si片上说成是涂在SiO2/Si上，不影响你说明问题。
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5楼2011-04-26 19:06:32
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