24小时热门版块排行榜    

查看: 1509  |  回复: 5
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

小小蕾蕾

金虫 (小有名气)


[交流] 【求助】大家用硅片旋涂的时候处理上面的氧化层吗?

看到文献上都说在Si片上旋涂,可是我有一事不明白,硅片上不是有一层自然的氧化层吗?要把这层氧化层处理掉吗?不处理可以吗?也有文献上说在SiO2/Si上旋涂,把硅片热氧化上一层SiO2,我不知道我是应该把上面的氧化层处理掉呢还是要热氧化上一层SiO2呢?如果处理氧化层的话要用什么呢?
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

» 抢金币啦!回帖就可以得到:

查看全部散金贴

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ev87

金虫 (正式写手)



小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
小小蕾蕾(金币+1): 2011-04-27 14:25:49
SiO 通俗来说就是Si片吧,我想是你想太多了吧。。
4楼2011-04-25 00:15:14
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 6 个回答

小小蕾蕾

金虫 (小有名气)


还有我要是不处理的话那算是在SiO2/Si基片上旋涂吧?
2楼2011-04-04 21:30:57
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

小小蕾蕾

金虫 (小有名气)


怎么没有人回呢?
3楼2011-04-24 21:40:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

紫荆空间

银虫 (著名写手)


★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
小小蕾蕾(金币+3): 2011-04-27 14:25:56
Missile521(金币+1): 欢迎交流! 2011-04-27 20:21:25
引用回帖:
Originally posted by 小小蕾蕾 at 2011-04-04 21:28:48:
看到文献上都说在Si片上旋涂,可是我有一事不明白,硅片上不是有一层自然的氧化层吗?要把这层氧化层处理掉吗?不处理可以吗?也有文献上说在SiO2/Si上旋涂,把硅片热氧化上一层SiO2,我不知道我是应该把上面的氧 ...

实际上就算Si表面没有SiO2层,利用溶胶凝胶涂膜厚再热处理就会产生SiO2层的。所以一般情况下不用把SiO2层腐蚀掉,当然你也可以把涂在Si片上说成是涂在SiO2/Si上,不影响你说明问题。
5楼2011-04-26 19:06:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 2027广东省杰青 +3 奶牛小黑 2026-08-15 6/300 2026-08-16 20:07 by 奶牛小黑
[基金申请] 哪位老哥知道今年的国自然具体哪一天放榜? +9 Ldrop2023 2026-08-13 9/450 2026-08-16 13:24 by wukun_007
[基金申请] 欢迎发来filecode的Mz6后的代码验证其规律 +32 医学老男孩 2026-08-13 72/3600 2026-08-16 13:15 by 医学老男孩
[基金申请] 我的国基提前知道中了,可是同事的操作让我实在接受不了,怎么会有这样的人 +11 家与远方 2026-08-10 16/800 2026-08-16 10:28 by ray43
[基金申请] 有时候,自然基金真的不能太认真 (我的申报经验) +10 majunge000 2026-08-11 12/600 2026-08-16 08:18 by xli1984
[基金申请] filecode=后面第一个是大写字母 +6 wangze12014 2026-08-14 7/350 2026-08-15 20:12 by gltch
[基金申请] filecode +8 cratir 2026-08-14 12/600 2026-08-15 18:08 by zyfgau
[基金申请] 小木虫上这么多卖论文的,真有人买论文么?感觉没必要啊 +12 Tide man 2026-08-10 13/650 2026-08-15 16:34 by 氺木
[基金申请] 关于Filecode分析方法 +10 majunge000 2026-08-10 13/650 2026-08-15 12:26 by hanpeng972
[基金申请] 是这周出结果还是下周出结果? +4 yuleib84 2026-08-11 4/200 2026-08-14 23:05 by lfy8008
[基金申请] filecode +15 documentary 2026-08-10 17/850 2026-08-14 10:08 by kissu88
[基金申请] 静等基金结果 +8 gjjjzhong 2026-08-10 21/1050 2026-08-13 17:56 by 且听虎啸
[基金申请] 重要来源:本周末出结果 +10 瞬息宇宙 2026-08-12 10/500 2026-08-13 15:46 by likettle
[基金申请] Filecode 又变了,巨变 +3 WH3796 2026-08-12 4/200 2026-08-13 14:13 by 小木虫6752397
[基金申请] 结合人工智能,周易传统文化,filecode打分制来了,3分以上希望很大。 +3 Tide man 2026-08-12 4/200 2026-08-13 08:35 by ZJTJZ
[基金申请] 2019年青年基金涵评意见,大家看看几个A,几个B? +11 Tide man 2026-08-11 11/550 2026-08-13 07:35 by 撸猫猫
[基金申请] 帮忙看看fileCode +7 wwncly 2026-08-10 13/650 2026-08-11 19:36 by 冰心玉壶晴
[基金申请] 确定了,国自然21号放榜 +6 布布和一二 2026-08-10 7/350 2026-08-10 19:15 by 2000zf36392
[基金申请] 国自然结果 +4 Vierhys 2026-08-10 8/400 2026-08-10 15:06 by Vierhys
[基金申请] 据悉今年马上要出结果了 +7 瞬息宇宙 2026-08-10 8/400 2026-08-10 12:42 by Vivilian
信息提示
请填处理意见