| 查看: 1420 | 回复: 2 | ||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||
[求助]
离子辅助磁控溅射镀膜的优点有哪些 已有1人参与
|
||
| 离子辅助磁控溅射镀膜的优点,其可以提高膜层的那些性能,举例说明? |
回复此楼» 猜你喜欢
材料调剂
已经有7人回复
-
化学工程085602 305分求调剂
已经有10人回复
-
289求调剂
已经有15人回复
-
291 求调剂
已经有7人回复
-
274求调剂
已经有14人回复
-
北京林业大学硕导招生广告
已经有3人回复
-
309求调剂
已经有5人回复
-
292求调剂
已经有8人回复
-
求调剂
已经有4人回复
-
一志愿 西北大学 总分282 英语一62 求调剂
已经有3人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 镀膜技术-磁控溅射
已经有1人回复
- 急急急！！磁控溅射镀膜 试样边上镀不上膜 这跟什么有关系啊？
已经有9人回复
- 磁控溅射中如何用氩离子轰击基片
已经有11人回复
- 用磁控溅射镀膜时为什么起辉电压显示为0？是短路了吗？
已经有7人回复
- 离子溅射仪镀膜
已经有11人回复
- 磁控溅射方法在纳米粒子表面镀膜
已经有4人回复
- 磁控溅射镀不上去膜！！
已经有14人回复
- 关于溅射镀膜的温度
已经有8人回复
- 磁控溅射&离子溅射
已经有11人回复
- 磁控溅射能起辉，但不能沉积
已经有21人回复
- 射频磁控溅射镀膜都可以通入哪些气体
已经有11人回复
- 请教一下做磁控溅射镀膜的时候，氩气，氧气，氮气电离得时候分别是什么颜色？
已经有22人回复
- 直流磁控溅射镀膜总是被氧化
已经有42人回复
- 电子束蒸发镀膜和磁控溅射镀膜所得薄膜有什么区别？
已经有17人回复
- 做磁控溅射的朋友请进
已经有10人回复
- 【求助】请教磁控溅射金属膜问题
已经有23人回复
- 【求助】关于磁控溅射SiO2的问题
已经有14人回复
3楼2014-06-20 08:46:09
【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
潘大腿: 金币+15, ★有帮助 2014-12-06 16:39:01
潘大腿: 金币+15, ★有帮助 2014-12-06 16:39:01
|
离子束辅助磁控溅射分两种： 1） 常规的情况下，离子源和磁控溅射不能同时工作。因为工作压力不同 镀膜前，用离子源进行基片清洗，提高膜层和基片的结合力。 当然也可以采用其他方式对基片清洗 在镀膜后，用离子源对膜层进行轰击，这样可以提高膜层的致密度。 间歇式的镀膜，先镀膜一会，用离子源轰击一下，然后在镀膜，离子源在轰击。这样可以提高膜层的致密度，打掉结合力不好的膜。 当然轰击的能量需要控制合理。 2） 离子源和磁控溅射可以同时工作，需要特殊设计，一般只有研发行业，可以用用。实际生产很难实现。究竟同时工作的效果有多少，各家说法不同。 同时工作，最大的好处是，可以边镀膜，边轰击。提高膜层的结合力和致密度。对于磁性材料，可能会改变膜层的结构。 如果控制不好，可以镀上的膜，会被离子源轰击掉 |
2楼2014-06-13 00:19:28
