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磁控溅射辉光在外圈产生
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陈勇跃
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在线: 550.3小时
虫号: 562734
注册: 2008-05-24
性别: GG
专业: 凝聚态物性 II :电子结构
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磁控溅射辉光在外圈产生
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我用射频溅射的时候,不仅靶中心有辉光,边缘也有一圈辉光,是怎么回事?
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1楼
2014-04-25 09:50:07
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zhongjiagang
新虫
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应助: 0
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虫号: 1551997
注册: 2011-12-26
【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★ ★
陈勇跃: 金币+5,
★★★
很有帮助, 那该怎样解决呢?屏蔽盖已经转上了
2014-05-06 12:11:04
那说明靶边缘存在气体被电离,也就说明你的磁场没有完全闭合
[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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2楼
2014-05-05 20:36:09
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