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陈勇跃

金虫 (正式写手)

[求助] 磁控溅射辉光在外圈产生 已有1人参与

我用射频溅射的时候,不仅靶中心有辉光,边缘也有一圈辉光,是怎么回事?
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zhongjiagang

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
陈勇跃: 金币+5, ★★★很有帮助, 那该怎样解决呢?屏蔽盖已经转上了 2014-05-06 12:11:04
那说明靶边缘存在气体被电离,也就说明你的磁场没有完全闭合

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
2楼2014-05-05 20:36:09
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