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陈勇跃

金虫 (正式写手)

应助: 6 (幼儿园)
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在线: 550.3小时
虫号: 562734
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性别: GG
专业: 凝聚态物性 II ：电子结构

[求助] 磁控溅射辉光在外圈产生已有1人参与

我用射频溅射的时候，不仅靶中心有辉光，边缘也有一圈辉光，是怎么回事？

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1楼2014-04-25 09:50:07

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zhongjiagang

新虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
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【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
陈勇跃: 金币+5, ★★★很有帮助, 那该怎样解决呢？屏蔽盖已经转上了 2014-05-06 12:11:04

那说明靶边缘存在气体被电离，也就说明你的磁场没有完全闭合

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]

2楼2014-05-05 20:36:09

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