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liaofang20

银虫 (小有名气)

[求助] 请教PVD镀膜偏压问题 已有2人参与

我在镀膜清洗过程中,用示波器测量偏压波形,是直流脉冲负电压,为正常波形;但是当我关闭了弧源和偏压,测量的时候,示波器上面还有波形,不过波形不在是脉冲波形,波形波动较小,还是周期性变动,但是差不多成直流了,怎么回事?关闭偏压电源不是没有输出波形了的吗?哪位大侠帮我解疑
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ll2013

铜虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
liaofang20: 金币+19 2014-09-18 14:27:02
当电源的输出电压将为0,由于电源中的电容,是电源短时间内还存在电压。
4楼2014-09-18 14:17:19
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cord

铁杆木虫 (著名写手)


【答案】应助回帖


liaofang20: 金币+1, 谢谢 2014-05-05 08:22:27
对你的设备具体情况不了解,这个问题你最好去问设备厂家,后者你的导师
3楼2014-05-02 23:40:12
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