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tiancaisha
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[求助]
请真空镀膜过程中，使用过偏压清洗的朋友帮忙回答一下！谢谢
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| 本人使用磁控溅射设备，在硬质合金基体上制备硬质涂层，在镀膜前需要使用偏压清洗一下工件的表面。我想问一下当我给真空室中通入氩气到2*10-1Pa，然后给工件加上1000V的负偏压，占空比30%进行偏压清洗，我想问问此时工件的表面或附近会不会出现辉光或者是白光啊？因为我清洗完之后，把工件拿出来之后，发现跟放进去之前没有什么变化，表面还是比较脏，也还有氧化皮等。。请用过偏压清洗的朋友们帮忙分析一下啊！谢谢 |
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【答案】应助回帖
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tiancaisha: 金币+10, 博学EPI+1, ★★★很有帮助, 谢谢 2014-04-18 20:28:48
tiancaisha: 金币+30, ★★★★★最佳答案 2014-04-19 19:53:56
tiancaisha: 金币+10, 博学EPI+1, ★★★很有帮助, 谢谢 2014-04-18 20:28:48
tiancaisha: 金币+30, ★★★★★最佳答案 2014-04-19 19:53:56
| 我在做偏压清洗时，工件（基体）如果是导体的话，它周围是有光的；若工件不是导体的话，它周围没光。但是无论工件是导体与否，工件所在的转架周围有很暗的紫色光，而且你会发现偏压指针不断的晃动直至清洗完毕后稳定。 |
3楼2014-04-18 08:46:08
tiancaisha 
金虫 (正式写手)
| 顶。。。 |
2楼2014-04-17 16:39:31
睡睡谁谁
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4楼2014-04-18 09:11:03
tiancaisha
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5楼2014-04-18 20:31:37
tiancaisha
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6楼2014-04-18 20:32:33
7楼2014-04-19 10:04:16
tiancaisha
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8楼2014-04-19 19:53:38