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liaofang20银虫 (小有名气)
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请教PVD镀膜偏压问题 已有2人参与
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| 我在镀膜清洗过程中,用示波器测量偏压波形,是直流脉冲负电压,为正常波形;但是当我关闭了弧源和偏压,测量的时候,示波器上面还有波形,不过波形不在是脉冲波形,波形波动较小,还是周期性变动,但是差不多成直流了,怎么回事?关闭偏压电源不是没有输出波形了的吗?哪位大侠帮我解疑 |
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liaofang20
银虫 (小有名气)
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