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武光食色

金虫 (小有名气)

[求助] 用磁控溅射镀膜时为什么起辉电压显示为0?是短路了吗? 已有2人参与

用磁控溅射镀膜时起辉电压显示为0,是短路了吗?旋盖已经和靶面有一定空隙了,也进行过吸尘和清洁工作,不知道为何还会起辉不了,求有经验的兄弟帮忙下!
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)

穿越千年: 欢迎来本版交流 2013-12-20 08:54:29
短路的话,起不了弧的
如果显示电压为0、电流显示很大,应该是短路了
2楼2013-12-19 22:43:06
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武光食色

金虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by wbcui at 2013-12-19 22:43:06
短路的话,起不了弧的
如果显示电压为0、电流显示很大,应该是短路了

应该怎么解决呢?
3楼2013-12-20 11:00:07
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 武光食色 at 2013-12-20 12:00:07
应该怎么解决呢?...

开腔,重新清理;
或者去下电极拆开看看是不是内部有缝隙间掉入的金属性粉尘
4楼2013-12-20 17:21:12
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Adrean

金虫 (小有名气)

钻虫

【答案】应助回帖

★ ★ ★
穿越千年: 鼓励积极交流 2014-02-13 13:45:03
武光食色: 金币+3, ★★★很有帮助 2014-02-17 09:23:26
溅射电压没有加到靶上,关闭电源重新加功率。。。如果有电流很大,则是短路了,建议拆开电极检查
千里之行始于足下
5楼2013-12-23 13:01:54
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xiaofeng-wang

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★
穿越千年: 欢迎来本版交流 2014-02-13 13:45:13
武光食色: 金币+2, 有帮助 2014-02-17 09:23:34
工艺气体没有加,也会显示电压0,建议检查流量计或气瓶。
呼市虫子在深圳创造奇迹!
6楼2014-02-13 08:31:03
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guanrenhe

新虫 (初入文坛)

如果工艺气不加,电源及易烧坏,短路的话电源应该会开不了(短路保护)跳闸,谢谢!
7楼2014-07-14 15:26:35
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perry_ping

新虫 (职业作家)


每次开腔清理后用三用表测量是否短路,否则抽了真空再发现问题就比较麻烦了

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
8楼2015-01-20 16:43:32
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