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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 用磁控溅射镀膜时为什么起辉电压显示为0？是短路了吗？
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武光食色

金虫 (小有名气)

[求助] 用磁控溅射镀膜时为什么起辉电压显示为0？是短路了吗？ 已有2人参与

用磁控溅射镀膜时起辉电压显示为0，是短路了吗？旋盖已经和靶面有一定空隙了，也进行过吸尘和清洁工作，不知道为何还会起辉不了，求有经验的兄弟帮忙下！
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1楼 2013-12-19 19:58:42
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)
穿越千年: 欢迎来本版交流 2013-12-20 08:54:29
短路的话，起不了弧的
如果显示电压为0、电流显示很大，应该是短路了
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2楼2013-12-19 22:43:06
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武光食色

金虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by wbcui at 2013-12-19 22:43:06
短路的话，起不了弧的
如果显示电压为0、电流显示很大，应该是短路了

应该怎么解决呢？
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3楼2013-12-20 11:00:07
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 武光食色 at 2013-12-20 12:00:07
应该怎么解决呢？...

开腔，重新清理；
或者去下电极拆开看看是不是内部有缝隙间掉入的金属性粉尘
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4楼2013-12-20 17:21:12
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Adrean

金虫 (小有名气)

钻虫

【答案】应助回帖

★ ★ ★
穿越千年: 鼓励积极交流 2014-02-13 13:45:03
武光食色: 金币+3, ★★★很有帮助 2014-02-17 09:23:26
溅射电压没有加到靶上，关闭电源重新加功率。。。如果有电流很大，则是短路了，建议拆开电极检查
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千里之行始于足下
5楼2013-12-23 13:01:54
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xiaofeng-wang

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★
穿越千年: 欢迎来本版交流 2014-02-13 13:45:13
武光食色: 金币+2, ★有帮助 2014-02-17 09:23:34
工艺气体没有加，也会显示电压0，建议检查流量计或气瓶。
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呼市虫子在深圳创造奇迹！
6楼2014-02-13 08:31:03
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guanrenhe

新虫 (初入文坛)
如果工艺气不加，电源及易烧坏，短路的话电源应该会开不了（短路保护）跳闸，谢谢！
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7楼2014-07-14 15:26:35
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perry_ping

新虫 (职业作家)
每次开腔清理后用三用表测量是否短路，否则抽了真空再发现问题就比较麻烦了

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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8楼2015-01-20 16:43:32
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