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用磁控溅射镀膜时为什么起辉电压显示为0？是短路了吗？ 已有2人参与
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| 用磁控溅射镀膜时起辉电压显示为0，是短路了吗？旋盖已经和靶面有一定空隙了，也进行过吸尘和清洁工作，不知道为何还会起辉不了，求有经验的兄弟帮忙下！ |
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2楼2013-12-19 22:43:06
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