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新虫 (初入文坛)

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[交流] 磁控离子溅射系统中，金属离子铬的浓度用的是什么传感器？已有1人参与

在走镀膜工艺时，实时检测金属离子的浓度来控制反应气体，请问这个金属离子如何检测，是什么传感器，有型号吗？

谢谢！

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【资源】推荐一批磁控溅射靶材相关的论坛or网站已经有6人回复

1楼 2013-11-14 20:33:35

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zhangmagic

木虫 (正式写手)

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这个金属离子浓度能检测吗？有难度
感应耦合等离子体原子发射光谱仪可以检测元素含量，你了解一下上面怎么测元素浓度的

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