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dedaozhuce

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[求助] 磁控溅射的硅薄膜是什么结构？折射率是多少啊？

各位大牛：
磁控溅射的硅薄膜不再是晶体结构了吧，是多孔硅结构吗？
它的折射率是多少呢？对光的吸收系数哪里可以查的到啊？

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1楼 2012-12-14 13:49:02

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yswyx

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dedaozhuce: 金币+2, ★★★很有帮助 2012-12-19 01:11:33

应该是无定形硅吧，也叫非晶硅。
至于光学性能，都不是定制，波动挺大的。照着名词搜，网上很多讨论这个的文章。

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2楼2012-12-14 15:14:44

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