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dedaozhuce

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射的硅薄膜是什么结构?折射率是多少啊?

各位大牛:
磁控溅射的硅薄膜不再是晶体结构了吧,是多孔硅结构吗?
它的折射率是多少呢?对光的吸收系数哪里可以查的到啊?
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yswyx

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【答案】应助回帖

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nofrunolif: 金币+1, 换衣专家顾问跨版交流 2012-12-14 17:00:19
nofrunolif: 金币+1, 欢迎专家顾问跨版交流 2012-12-14 17:00:35
dedaozhuce: 金币+2, ★★★很有帮助 2012-12-19 01:11:33
应该是无定形硅吧,也叫非晶硅。
至于光学性能,都不是定制,波动挺大的。照着名词搜,网上很多讨论这个的文章。
2楼2012-12-14 15:14:44
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