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王九秀wjx

新虫 (初入文坛)

[交流] 磁控溅射ITO 已有6人参与

磁控溅射ITO时,预溅射时的功率与溅射时的功率之间有怎样的关系呢?
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houlucky

木虫 (正式写手)

引用回帖:
7楼: Originally posted by dearhanzi at 2013-01-22 15:15:21
有关系啊,预溅射时的功率要大于溅射时的功率,这样第一可以检测设备是否可以正常运行,同时靶材表面吸附的气体可以最大量的释放出来。

言之有理
8楼2013-01-22 21:47:32
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查看全部 8 个回答

Smallpeng

木虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
楼上的对    没什么关系
勇敢自信踏实,科研其实和生活是一样一样的
3楼2012-12-11 09:07:32
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水木叶爽

金虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
zhaohaixing: 鼓励交流 2013-01-22 16:07:34
预溅射时需把功率调温调大溅射效果才好
人生须攀登才会有收获。
5楼2012-12-30 20:24:32
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houlucky

木虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
zhaohaixing: 鼓励交流 2013-01-22 16:07:39
预溅射通常也叫炼靶,与溅射时的工作功率没关系。
6楼2013-01-03 15:54:59
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