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磁控溅射ITO
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王九秀wjx
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专业: 凝聚态物性 II :电子结构
[交流]
磁控溅射ITO
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磁控溅射ITO时,预溅射时的功率与溅射时的功率之间有怎样的关系呢?
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1楼
2012-12-08 16:23:59
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水木叶爽
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注册: 2012-12-08
性别:
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专业: 高分子材料的加工与成型
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2013-01-22 16:07:34
预溅射时需把功率调温调大溅射效果才好
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人生须攀登才会有收获。
5楼
2012-12-30 20:24:32
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Smallpeng
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注册: 2009-04-21
性别: GG
专业: 金属功能材料
★
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楼上的对 没什么关系
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勇敢自信踏实,科研其实和生活是一样一样的
3楼
2012-12-11 09:07:32
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houlucky
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红花: 3
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虫号: 228662
注册: 2006-03-25
性别: GG
专业: 功能陶瓷
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2013-01-22 16:07:39
预溅射通常也叫炼靶,与溅射时的工作功率没关系。
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6楼
2013-01-03 15:54:59
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dearhanzi
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虫号: 65069
注册: 2005-04-23
性别: GG
专业: 无机非金属类光电信息与功
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zhaohaixing: 鼓励交流
2013-01-22 16:07:44
有关系啊,预溅射时的功率要大于溅射时的功率,这样第一可以检测设备是否可以正常运行,同时靶材表面吸附的气体可以最大量的释放出来。
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7楼
2013-01-22 15:15:21
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