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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控溅射ITO
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王九秀wjx

新虫 (初入文坛)

[交流] 磁控溅射ITO 已有6人参与

磁控溅射ITO时，预溅射时的功率与溅射时的功率之间有怎样的关系呢？
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1楼 2012-12-08 16:23:59
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Smallpeng

木虫 (正式写手)
★
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楼上的对    没什么关系
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勇敢自信踏实，科研其实和生活是一样一样的
3楼2012-12-11 09:07:32
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水木叶爽

金虫 (正式写手)
★
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zhaohaixing: 鼓励交流 2013-01-22 16:07:34
预溅射时需把功率调温调大溅射效果才好
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人生须攀登才会有收获。
5楼2012-12-30 20:24:32
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houlucky

木虫 (正式写手)
★
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zhaohaixing: 鼓励交流 2013-01-22 16:07:39
预溅射通常也叫炼靶，与溅射时的工作功率没关系。
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6楼2013-01-03 15:54:59
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dearhanzi

金虫 (小有名气)
★
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zhaohaixing: 鼓励交流 2013-01-22 16:07:44
有关系啊，预溅射时的功率要大于溅射时的功率，这样第一可以检测设备是否可以正常运行，同时靶材表面吸附的气体可以最大量的释放出来。
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7楼2013-01-22 15:15:21
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