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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 【求助】ITO载流子 浓度 变化
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水中绿洲

银虫 (小有名气)

[交流] 【求助】ITO载流子 浓度 变化

我磁控溅射 做了 一批 ITO 薄膜   衬底温度变化  发现了  载流子浓度 先增大 后稍微 减少  再 大幅度 增大   请问 这是  怎么回事  什么机理啊  怎么 解释啊  用纯氩气 溅射  没有  氧气    谢谢大家
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1楼 2010-11-30 08:53:33
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cord

铁杆木虫 (著名写手)
水中绿洲(金币+10):您的意思是 在同一个点 做 几次重复试验 然后 在画图吗 2010-12-01 08:07:27
这个图画得有问题。
200度的点跟250度的差不了多少，应该用统计的方法画，
实验结果不会是这么线性的，多少都会有偏差。

“你永远都不能两次踏入同一条河流。"

即使实验的条件在宏观上都一样，其实每次实验都是不一样的，得到的的数值也不是完全一样，是在一定范围之内。
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2楼2010-12-01 02:00:54
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cord

铁杆木虫 (著名写手)
我的意思是不要用直线连接各个数据点，用平滑的曲线，曲线也不需要通过每一个点，只要让所有点在曲线附件均匀分布就可以了。
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3楼2010-12-01 08:12:09
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水中绿洲

银虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by cord at 2010-12-01 08:12:09:
我的意思是不要用直线连接各个数据点，用平滑的曲线，曲线也不需要通过每一个点，只要让所有点在曲线附件均匀分布就可以了。

那样的话 趋势还是  一样的啊 请问您   那个载流子 浓度 为啥 先上升 后下降 再 上升那  您 了解吗
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4楼2010-12-01 08:19:32
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zhxfish

金虫 (著名写手)
水中绿洲(金币+1): 2010-12-01 09:15:54
你看点文献吧，这方面一大堆文献，也许能找到问题所在。
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5楼2010-12-01 08:29:49
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nzhth

至尊木虫 (文坛精英)
水中绿洲(金币+5): 2010-12-01 09:18:23
你这个分明是一直增大的趋势，有误差，实验的些微差别能影响很大
另外，你这个ITO的电阻率比通常低一个数量级，不知道你问题出在哪儿
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6楼2010-12-01 08:45:18
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nzhth

至尊木虫 (文坛精英)
水中绿洲(金币+15):目前 也只有 这样解释 了 呵呵 谢谢您 请问 能加您的QQ 或 告诉我 您的 邮箱吗 2010-12-02 08:44:38
载流子浓度的变化无非是  氧空位和Sn替代
前期提高衬底温度会增加Sn替代的效果，如低价氧化物变高价。从而n增加。
后期继续提高衬底温度，导致氧空位减少，所以n下降。
至于后两个点的趋势，不排除实验误差，你可以多做一个点看看。
如果硬要解释，可能是温度过高，玻璃中的Na等元素扩散。（是玻璃衬底吧？）

[ Last edited by nzhth on 2010-12-1 at 09:34 ]
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7楼2010-12-01 09:32:25
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cord

铁杆木虫 (著名写手)
水中绿洲(金币+3):专家 能加您的 QQ 或 邮箱吗 2010-12-02 08:49:00
下面已经说得很明白了，不用我重复了吧？
多考虑考虑我说得话，非得直接了当说明白了也没yi思
引用回帖:
Originally posted by 水中绿洲 at 2010-12-01 08:19:32:


那样的话 趋势还是  一样的啊 请问您   那个载流子 浓度 为啥 先上升 后下降 再 上升那  您 了解吗

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8楼2010-12-01 12:00:29
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yibab

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
楼主 ，我正在做染料敏化太阳能电池，需要测试电池在光照下的载流子浓度变化，不知道如何下手啊。请问你采用磁控溅射得到的膜进行载流子浓度测试是采用什么方法和什么设备啊？是霍尔效应吗？
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9楼2015-03-02 19:56:56
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