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水中绿洲

银虫 (小有名气)

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[交流] 【求助】ITO载流子浓度变化

我磁控溅射做了一批 ITO 薄膜衬底温度变化发现了载流子浓度先增大后稍微减少再大幅度增大请问这是怎么回事什么机理啊怎么解释啊用纯氩气溅射没有氧气谢谢大家

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1楼 2010-11-30 08:53:33

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nzhth

至尊木虫 (文坛精英)

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水中绿洲(金币+15):目前也只有这样解释了呵呵谢谢您请问能加您的QQ 或告诉我您的邮箱吗 2010-12-02 08:44:38

载流子浓度的变化无非是氧空位和Sn替代
前期提高衬底温度会增加Sn替代的效果，如低价氧化物变高价。从而n增加。
后期继续提高衬底温度，导致氧空位减少，所以n下降。
至于后两个点的趋势，不排除实验误差，你可以多做一个点看看。
如果硬要解释，可能是温度过高，玻璃中的Na等元素扩散。（是玻璃衬底吧？）

[ Last edited by nzhth on 2010-12-1 at 09:34 ]