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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 【求助】ITO载流子 浓度 变化
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水中绿洲

银虫 (小有名气)

[交流] 【求助】ITO载流子 浓度 变化

我磁控溅射 做了 一批 ITO 薄膜   衬底温度变化  发现了  载流子浓度 先增大 后稍微 减少  再 大幅度 增大   请问 这是  怎么回事  什么机理啊  怎么 解释啊  用纯氩气 溅射  没有  氧气    谢谢大家
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1楼2010-11-30 08:53:33
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nzhth

至尊木虫 (文坛精英)
水中绿洲(金币+15):目前 也只有 这样解释 了 呵呵 谢谢您 请问 能加您的QQ 或 告诉我 您的 邮箱吗 2010-12-02 08:44:38
载流子浓度的变化无非是  氧空位和Sn替代
前期提高衬底温度会增加Sn替代的效果，如低价氧化物变高价。从而n增加。
后期继续提高衬底温度，导致氧空位减少，所以n下降。
至于后两个点的趋势，不排除实验误差，你可以多做一个点看看。
如果硬要解释，可能是温度过高，玻璃中的Na等元素扩散。（是玻璃衬底吧？）

[ Last edited by nzhth on 2010-12-1 at 09:34 ]
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7楼2010-12-01 09:32:25
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cord

铁杆木虫 (著名写手)
水中绿洲(金币+10):您的意思是 在同一个点 做 几次重复试验 然后 在画图吗 2010-12-01 08:07:27
这个图画得有问题。
200度的点跟250度的差不了多少，应该用统计的方法画，
实验结果不会是这么线性的，多少都会有偏差。

“你永远都不能两次踏入同一条河流。"

即使实验的条件在宏观上都一样，其实每次实验都是不一样的，得到的的数值也不是完全一样，是在一定范围之内。
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2楼2010-12-01 02:00:54
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cord

铁杆木虫 (著名写手)
我的意思是不要用直线连接各个数据点，用平滑的曲线，曲线也不需要通过每一个点，只要让所有点在曲线附件均匀分布就可以了。
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3楼2010-12-01 08:12:09
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水中绿洲

银虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by cord at 2010-12-01 08:12:09:
我的意思是不要用直线连接各个数据点，用平滑的曲线，曲线也不需要通过每一个点，只要让所有点在曲线附件均匀分布就可以了。

那样的话 趋势还是  一样的啊 请问您   那个载流子 浓度 为啥 先上升 后下降 再 上升那  您 了解吗
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4楼2010-12-01 08:19:32
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