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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 【求助】ITO载流子 浓度 变化
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水中绿洲

银虫 (小有名气)

[交流] 【求助】ITO载流子 浓度 变化

我磁控溅射 做了 一批 ITO 薄膜   衬底温度变化  发现了  载流子浓度 先增大 后稍微 减少  再 大幅度 增大   请问 这是  怎么回事  什么机理啊  怎么 解释啊  用纯氩气 溅射  没有  氧气    谢谢大家
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1楼2010-11-30 08:53:33
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zhxfish

金虫 (著名写手)
水中绿洲(金币+1): 2010-12-01 09:15:54
你看点文献吧，这方面一大堆文献，也许能找到问题所在。
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5楼2010-12-01 08:29:49
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