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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控溅射ITO
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王九秀wjx

新虫 (初入文坛)

[交流] 磁控溅射ITO 已有7人参与

磁控溅射ITO时，预溅射是只需通氩气就可以吗？还是氧气也需要通入才可以预溅射？
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1楼 2012-12-08 16:05:26
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wu1008

金虫 (著名写手)
都要吧
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2楼2012-12-09 09:19:55
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Smallpeng

木虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
chemlh: 欢迎积极交流 2012-12-10 09:30:35
预溅射的目的是除去靶材表面的杂质等，只通氩气应该可以吧
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勇敢自信踏实，科研其实和生活是一样一样的
3楼2012-12-09 21:32:20
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almonleng1

铁虫 (初入文坛)
★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
nofrunolif: 金币+1, 鼓励交流， 2012-12-10 09:03:49
一定要,最好是在垃圾衬底上预溅射几次， 然后再开始正式溅射。
预溅射的条件和正式的条件要尽量一模一样，让整个腔体达到一个动态的平衡，这需要很长的时间，一旦这个平衡建立起来以后，就可以保持很长的时间。
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4楼2012-12-10 07:08:10
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zsy1207333

铁杆木虫 (著名写手)
四楼正解
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一个男人的梦想应该是承担起更大的责任
5楼2012-12-10 08:08:36
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leipei.123

至尊木虫 (文坛精英)

虎虎军团NO.1
是的

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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打酱油的GG
6楼2012-12-10 16:35:34
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无机化学课本

铁虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
请问你们每次磁控溅射结束之后清理腔体吗？
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7楼2019-01-17 14:39:46
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yachong001

新虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
所谓是预溅射，其实就是除去靶材表面的一层而已，只通氩气足矣！ITO溅射需要的氧气本来也少，氧气加点也无妨。这又不是硅靶。
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8楼2019-10-21 16:51:48
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