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射频溅射速率很慢
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| 有没有虫友用过Lesker公司的PVD75？用射频镀硅膜，发现速度超慢，两分钟才1nm。是否功率不够（用的200W），还是样品跟靶材离得太远（估计有20cm）？希望有经验的虫友前来指导交流。 |
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