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sarahzyp金虫 (小有名气)
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[求助]
[求助]磁控溅射制备SiN，用的是射频电源，有辉光，但溅射不上
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| 有没有人用过Si3N4磁控溅射靶材指点一下，我用射频电源，接在强磁靶上，起辉了，但发现无法沉积在基片上，这是为什么？是不是靶面和基片表面的距离不对？我的是约70mm。 |
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3楼2012-10-07 12:02:59
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5楼2012-10-09 12:53:17
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9楼2012-10-09 20:19:25