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weibaobao

木虫 (著名写手)


[交流] 半导体氧化锌薄膜

最近做的膜层30nm厚,方阻不到30欧,计算得到的电阻率值达到10的负四次方,还是在ITO玻璃上面涂的膜,让人匪夷所思阿,看到的文献电阻率都是掺杂铝等后电阻率的值才那么低。。。。。。。。。。旋涂几次退火后膜层厚度没有变化
三四五层只增加到50左右。。。。

[ Last edited by weibaobao on 2012-8-29 at 20:53 ]
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辉太狼121

银虫 (小有名气)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
请教你这40nm厚的薄膜是长上去的还是溅射上去的呢?谢谢。
2楼2012-08-27 21:16:15
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weibaobao

木虫 (著名写手)


引用回帖:
2楼: Originally posted by 辉太狼121 at 2012-08-27 21:16:15
请教你这40nm厚的薄膜是长上去的还是溅射上去的呢?谢谢。

旋涂法
3楼2012-08-28 08:13:24
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zhuzhen

木虫 (正式写手)


★ ★ ★ ★ ★ ★
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nofrunolif: 金币+1, 欢迎交流 2012-08-28 10:17:49
weibaobao: 金币+1 2012-08-28 11:10:10
weibaobao: 金币+3 2012-09-22 09:21:55
注意啦,你用的衬底是导电的,ito电阻率就在10e-4。另外透过率与你参照物有关,衬底的话有可能超过100
4楼2012-08-28 08:42:18
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weibaobao

木虫 (著名写手)


引用回帖:
4楼: Originally posted by zhuzhen at 2012-08-28 08:42:18
注意啦,你用的衬底是导电的,ito电阻率就在10e-4。另外透过率与你参照物有关,衬底的话有可能超过100

那扣除我ITO玻璃,我的氧化锌膜层的电阻率岂不是更小了?
5楼2012-08-28 11:09:50
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鹰羽龙

木虫 (著名写手)


★ ★
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weibaobao: 金币+1 2012-08-28 15:38:08
可能是涂的氧化锌膜不均匀,测的是ITO 膜的电阻。以ITO 膜做背景测透光度是可以到100%的。40nm厚是怎么测的?
6楼2012-08-28 13:48:05
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weibaobao

木虫 (著名写手)


引用回帖:
6楼: Originally posted by 鹰羽龙 at 2012-08-28 13:48:05
可能是涂的氧化锌膜不均匀,测的是ITO 膜的电阻。以ITO 膜做背景测透光度是可以到100%的。40nm厚是怎么测的?

这个可以排除,因为我测的时候一张膜片上测好几个点,都是这样差不多的值,主要是我直接用ITO测透光率没有达到那么高,我上面说了,ITO只只经过清洁处理,而我的膜层是经过退火处理的,我直接拿未经退火的ITO玻璃作为空白是不是有影响
7楼2012-08-28 13:55:34
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鹰羽龙

木虫 (著名写手)


★ ★ ★ ★ ★ ★
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weibaobao: 金币+5 2012-09-22 09:19:43
引用回帖:
7楼: Originally posted by weibaobao at 2012-08-28 13:55:34
这个可以排除,因为我测的时候一张膜片上测好几个点,都是这样差不多的值,主要是我直接用ITO测透光率没有达到那么高,我上面说了,ITO只只经过清洁处理,而我的膜层是经过退火处理的,我直接拿未经退火的ITO玻璃作 ...

40纳米是怎么测的?没涂上的话测几个点值也都差不多。做个退火后的XRD看看氧化锌的峰?没掺杂的话40nm厚不可能达到30欧的,那样比ITO还厉害,测个空白ITO 方阻
8楼2012-08-28 15:18:49
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weibaobao

木虫 (著名写手)


引用回帖:
8楼: Originally posted by 鹰羽龙 at 2012-08-28 15:18:49
40纳米是怎么测的?没涂上的话测几个点值也都差不多。做个退火后的XRD看看氧化锌的峰?没掺杂的话40nm厚不可能达到30欧的,那样比ITO还厉害,测个空白ITO 方阻...

涂上肯定是涂上了,从高倍显微镜下看得到,而且看都能看出来跟空白玻璃是不一样的,我现在就等着多旋几层测试方阻看看,这个数据我看着也有点不可思议
9楼2012-08-28 15:23:18
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鹰羽龙

木虫 (著名写手)


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weibaobao: 金币+2 2012-09-22 09:22:21
引用回帖:
9楼: Originally posted by weibaobao at 2012-08-28 15:23:18
涂上肯定是涂上了,从高倍显微镜下看得到,而且看都能看出来跟空白玻璃是不一样的,我现在就等着多旋几层测试方阻看看,这个数据我看着也有点不可思议...

妹纸,ITO膜退火之后形貌也会变化的,电阻也会升高的(空气中退火),显微镜下并不能说明涂膜的连续性,不是打击你的意思,只是让你多考虑考虑
10楼2012-08-28 15:33:23
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weibaobao

木虫 (著名写手)


引用回帖:
10楼: Originally posted by 鹰羽龙 at 2012-08-28 15:33:23
妹纸,ITO膜退火之后形貌也会变化的,电阻也会升高的(空气中退火),显微镜下并不能说明涂膜的连续性,不是打击你的意思,只是让你多考虑考虑...

这个可以有
11楼2012-08-28 15:39:29
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weibaobao

木虫 (著名写手)


引用回帖:
10楼: Originally posted by 鹰羽龙 at 2012-08-28 15:33:23
妹纸,ITO膜退火之后形貌也会变化的,电阻也会升高的(空气中退火),显微镜下并不能说明涂膜的连续性,不是打击你的意思,只是让你多考虑考虑...

这个可以有
12楼2012-08-28 15:39:54
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zhuzhen

木虫 (正式写手)


★ ★ ★ ★
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weibaobao: 金币+3 2012-09-22 09:23:13
引用回帖:
5楼: Originally posted by weibaobao at 2012-08-27 15:09:50
那扣除我ITO玻璃,我的氧化锌膜层的电阻率岂不是更小了?...

太薄,肯定有测试电流经过衬底,那类似并联吧,下次加个绝缘玻璃陪片对比下吧。多层膜某些波段会增透的,所以以空气做背景线吧,另外单独表征薄膜透过率也没意义啊,应用时你又不剥离,而是作为一个整体样品
13楼2012-08-28 16:57:07
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weibaobao

木虫 (著名写手)


引用回帖:
13楼: Originally posted by zhuzhen at 2012-08-28 16:57:07
太薄,肯定有测试电流经过衬底,那类似并联吧,下次加个绝缘玻璃陪片对比下吧。多层膜某些波段会增透的,所以以空气做背景线吧,另外单独表征薄膜透过率也没意义啊,应用时你又不剥离,而是作为一个整体样品...

多谢,我用白玻璃看看
14楼2012-08-28 23:10:13
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weibaobao

木虫 (著名写手)


引用回帖:
13楼: Originally posted by zhuzhen at 2012-08-28 16:57:07
太薄,肯定有测试电流经过衬底,那类似并联吧,下次加个绝缘玻璃陪片对比下吧。多层膜某些波段会增透的,所以以空气做背景线吧,另外单独表征薄膜透过率也没意义啊,应用时你又不剥离,而是作为一个整体样品...

其实这也只是我器件中的一层而已,而且肉眼也看出来明显比没涂膜的ITO透亮
15楼2012-08-29 08:18:52
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weilizang423

新虫 (初入文坛)



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我也想在ITO上做氧化锌薄膜,但是涨不上,也打算旋涂了,能否分享你的实验方法啊
16楼2014-08-27 09:30:49
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