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半导体氧化锌薄膜
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最近做的膜层30nm厚，方阻不到30欧，计算得到的电阻率值达到10的负四次方，还是在ITO玻璃上面涂的膜，让人匪夷所思阿，看到的文献电阻率都是掺杂铝等后电阻率的值才那么低。。。。。。。。。。旋涂几次退火后膜层厚度没有变化 三四五层只增加到50左右。。。。 [ Last edited by weibaobao on 2012-8-29 at 20:53 ] |
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