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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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紫廷

金虫 (正式写手)

[求助] 求问:薄膜厚度的测试方法、仪器

树脂基复合薄膜,很软,有柔性。用SEM测试不容易测出厚度。估计厚度在2、3个um。 谢谢。

另,文献中有提到过一种轮廓仪,可以测厚度和粗糙度,但不知是怎样的一种设备,以及哪里有。。。谢谢。

[ Last edited by flyingsnow4 on 2011-9-7 at 16:55 ]
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flyingsnow4

木虫 (文坛精英)

达子家姐——雪女

建议对求助进行完善吧,例如你做的是什么样的薄膜,如金属类、无机非金属类亦或是树脂基,以及你测试所需要的信息,想要对哪块进行评价,谢谢
2楼2011-09-06 15:32:53
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mmsabina

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
flyingsnow4(金币+2): 感谢回帖交流,期待进一步交流,欢迎常来复材版 2011-09-07 16:56:19
台阶仪器, AFM, SEM,很多的方法,
3楼2011-09-06 17:08:34
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紫廷

金虫 (正式写手)

引用回帖:
1楼: Originally posted by 紫廷 at 2011-09-06 14:42:16:
RT。。急问。谢谢

树脂基复合薄膜,很软,有柔性。用SEM测试不容易测出厚度。估计厚度在2、3个um。 谢谢。

另,文献中有提到过一种轮廓仪,可以测厚度和粗糙度,但不知是怎样的一种设备,以及哪里有。。。谢谢。
4楼2011-09-07 15:17:52
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紫廷

金虫 (正式写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by mmsabina at 2011-09-06 17:08:34:
台阶仪器, AFM, SEM,很多的方法,

谢谢。SEM试过了,不太能侧准,因为薄膜会耷拉下来,似乎刚度不够。
AFM对薄膜的表面粗糙度有要求,我们的AFM探针可能会不适合这样的薄膜。
台阶仪器是什么一种设备呢?求解。O(∩_∩)O谢谢
5楼2011-09-07 15:21:41
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walxf1987

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★
flyingsnow4(金币+2): 谢谢回帖交流,欢迎常来复材版 2011-09-07 16:56:40
可以使用干涉显微镜 在薄膜和基底的台阶处测试同一干涉条纹的偏移距离,由此测出薄膜厚度
干巴呆
6楼2011-09-07 16:47:41
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Maxmind

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

可以用白光干涉膜厚仪,不接触样品,无损伤,可以从10nm测到100um,也可以在探头加置显微镜头,缩小光斑。不知道你的样品粗糙度是不是很大。海洋光学和sentech都有这样的东西,就叫膜厚仪吧~~
7楼2011-09-29 10:29:32
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candymeng

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

原来我们做薄膜材料的时候就是买的数显测厚仪 可以测量10多个微米
8楼2011-11-12 22:41:48
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wxhtxwd

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

引用回帖:
6楼: Originally posted by walxf1987 at 2011-09-07 16:47:41:
可以使用干涉显微镜 在薄膜和基底的台阶处测试同一干涉条纹的偏移距离,由此测出薄膜厚度

那是不是只适合有颜色的薄膜呢?
透明的可以么?
9楼2011-12-06 09:57:03
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yuanhaojie

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖


紫廷: 回帖置顶 2011-12-15 10:31:27
紫廷(金币+1): 有帮助 2012-01-04 12:47:31
轮廓仪和台阶仪宁波材料所有

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

10楼2011-12-07 18:46:56
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