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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 复合材料 » 树脂基 » 求问：薄膜厚度的测试方法、仪器
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紫廷

金虫 (正式写手)

[求助] 求问：薄膜厚度的测试方法、仪器

树脂基复合薄膜，很软，有柔性。用SEM测试不容易测出厚度。估计厚度在2、3个um。 谢谢。

另，文献中有提到过一种轮廓仪，可以测厚度和粗糙度，但不知是怎样的一种设备，以及哪里有。。。谢谢。

[ Last edited by flyingsnow4 on 2011-9-7 at 16:55 ]
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1楼 2011-09-06 14:42:16
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flyingsnow4

木虫 (文坛精英)

达子家姐——雪女
建议对求助进行完善吧，例如你做的是什么样的薄膜，如金属类、无机非金属类亦或是树脂基，以及你测试所需要的信息，想要对哪块进行评价，谢谢
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2楼2011-09-06 15:32:53
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mmsabina

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
flyingsnow4(金币+2): 感谢回帖交流，期待进一步交流，欢迎常来复材版 2011-09-07 16:56:19
台阶仪器， AFM， SEM，很多的方法，
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3楼2011-09-06 17:08:34
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紫廷

金虫 (正式写手)
引用回帖:
1楼: Originally posted by 紫廷 at 2011-09-06 14:42:16:
RT。。急问。谢谢

树脂基复合薄膜，很软，有柔性。用SEM测试不容易测出厚度。估计厚度在2、3个um。 谢谢。

另，文献中有提到过一种轮廓仪，可以测厚度和粗糙度，但不知是怎样的一种设备，以及哪里有。。。谢谢。
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4楼2011-09-07 15:17:52
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紫廷

金虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by mmsabina at 2011-09-06 17:08:34:
台阶仪器， AFM， SEM，很多的方法，

谢谢。SEM试过了，不太能侧准，因为薄膜会耷拉下来，似乎刚度不够。
AFM对薄膜的表面粗糙度有要求，我们的AFM探针可能会不适合这样的薄膜。
台阶仪器是什么一种设备呢？求解。O(∩_∩)O谢谢
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5楼2011-09-07 15:21:41
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walxf1987

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★
flyingsnow4(金币+2): 谢谢回帖交流，欢迎常来复材版 2011-09-07 16:56:40
可以使用干涉显微镜 在薄膜和基底的台阶处测试同一干涉条纹的偏移距离，由此测出薄膜厚度
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干巴呆
6楼2011-09-07 16:47:41
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Maxmind

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

可以用白光干涉膜厚仪，不接触样品，无损伤，可以从10nm测到100um，也可以在探头加置显微镜头，缩小光斑。不知道你的样品粗糙度是不是很大。海洋光学和sentech都有这样的东西，就叫膜厚仪吧~~
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7楼2011-09-29 10:29:32
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candymeng

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

原来我们做薄膜材料的时候就是买的数显测厚仪 可以测量10多个微米
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8楼2011-11-12 22:41:48
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wxhtxwd

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

引用回帖:
6楼: Originally posted by walxf1987 at 2011-09-07 16:47:41:
可以使用干涉显微镜 在薄膜和基底的台阶处测试同一干涉条纹的偏移距离，由此测出薄膜厚度

那是不是只适合有颜色的薄膜呢？
透明的可以么？
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9楼2011-12-06 09:57:03
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yuanhaojie

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖


紫廷: 回帖置顶 2011-12-15 10:31:27
紫廷(金币+1): ★有帮助 2012-01-04 12:47:31
轮廓仪和台阶仪宁波材料所有
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紫廷
10楼2011-12-07 18:46:56
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