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求问:薄膜厚度的测试方法、仪器
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紫廷
金虫
(正式写手)
应助: 18
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在线: 147.5小时
虫号: 1208382
注册: 2011-02-21
性别:
MM
专业: 无机纳米化学
[
求助
]
求问:薄膜厚度的测试方法、仪器
树脂基复合薄膜,很软,有柔性。用SEM测试不容易测出厚度。估计厚度在2、3个um。 谢谢。
另,文献中有提到过一种轮廓仪,可以测厚度和粗糙度,但不知是怎样的一种设备,以及哪里有。。。谢谢。
[
Last edited by flyingsnow4 on 2011-9-7 at 16:55
]
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1楼
2011-09-06 14:42:16
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mmsabina
铁杆木虫
(正式写手)
应助: 0
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在线: 268.9小时
虫号: 65619
注册: 2005-04-25
专业: 半导体微纳机电器件与系统
【答案】应助回帖
★ ★
flyingsnow4(金币+2): 感谢回帖交流,期待进一步交流,欢迎常来复材版 2011-09-07 16:56:19
台阶仪器, AFM, SEM,很多的方法,
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3楼
2011-09-06 17:08:34
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