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yqkwww

金虫 (正式写手)

[求助] 诚心求助:半导体薄膜厚度测试

请教怎么测试薄膜厚度呢?用的基体是玻璃基体,需要测试吸光系数,看文献说需要测出薄膜厚度
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change myself if I am stocked!
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hanyuabc

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
吸光系数a=1/d*ln1/T  d是薄膜厚度 T是透过率
2楼2011-12-21 21:09:38
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lishaowen

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
做一个台阶,用台阶仪测试
3楼2011-12-21 21:43:51
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MANOWAR

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
使用椭圆偏振仪。
4楼2011-12-21 22:02:55
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studyforever

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
一般的SEM看截面不都能够看厚度
思想决定深度,性格决定人生!
5楼2011-12-22 10:00:18
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zhusimei1985

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
用中性笔划一道杠,镀完膜之后擦去,再用白光干涉仪测
6楼2011-12-22 10:26:29
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竹林风bamboo

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
若是多层的 可以用XRD 小角测单层厚度 再乘以层数就可以了
天道酬勤
7楼2011-12-22 19:14:48
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紫荆空间

银虫 (著名写手)

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感谢参与,应助指数 +1
用扫描电镜就可以吧,测试断面
8楼2011-12-23 12:02:48
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nanodot

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
如果你要做TEM的话,做截面应该是比较准确的。
9楼2011-12-23 13:45:30
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yangguang53

金虫 (小有名气)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
如果不想毁坏表面只能用椭圆仪,台阶仪必须要划一道,这个我测试过。不知道你这个薄膜是什么材料
10楼2011-12-25 09:54:12
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