24小时热门版块排行榜    

查看: 2749  |  回复: 12

yqkwww

金虫 (正式写手)

[求助] 诚心求助:半导体薄膜厚度测试

请教怎么测试薄膜厚度呢?用的基体是玻璃基体,需要测试吸光系数,看文献说需要测出薄膜厚度
回复此楼
change myself if I am stocked!
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

hanyuabc

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
吸光系数a=1/d*ln1/T  d是薄膜厚度 T是透过率
2楼2011-12-21 21:09:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lishaowen

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
做一个台阶,用台阶仪测试
3楼2011-12-21 21:43:51
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

MANOWAR

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
使用椭圆偏振仪。
4楼2011-12-21 22:02:55
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

studyforever

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
一般的SEM看截面不都能够看厚度
思想决定深度,性格决定人生!
5楼2011-12-22 10:00:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zhusimei1985

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
用中性笔划一道杠,镀完膜之后擦去,再用白光干涉仪测
6楼2011-12-22 10:26:29
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

竹林风bamboo

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
若是多层的 可以用XRD 小角测单层厚度 再乘以层数就可以了
天道酬勤
7楼2011-12-22 19:14:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

紫荆空间

银虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
用扫描电镜就可以吧,测试断面
8楼2011-12-23 12:02:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

nanodot

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
如果你要做TEM的话,做截面应该是比较准确的。
9楼2011-12-23 13:45:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yangguang53

金虫 (小有名气)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
如果不想毁坏表面只能用椭圆仪,台阶仪必须要划一道,这个我测试过。不知道你这个薄膜是什么材料
10楼2011-12-25 09:54:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 yqkwww 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] NSFC申报书里申请人简历中代表性论著还需要在申报书最后的附件里面再上传一遍吗 20+5 NSFC2026我来了 2026-03-10 14/700 2026-03-15 23:53 by 不负韶华的虎
[考研] 梁成伟老师课题组欢迎你的加入 +6 一鸭鸭哟 2026-03-14 7/350 2026-03-15 22:12 by Winj1e
[考博] 欢迎申博同学联系 +3 天道酬勤2026686 2026-03-10 7/350 2026-03-15 19:03 by 天道酬勤2026686
[考研] 东南大学364求调剂 +3 JasonYuiui 2026-03-15 3/150 2026-03-15 18:57 by 无际的草原
[考研] 一志愿985,本科211,0817化学工程与技术319求调剂 +3 Liwangman 2026-03-15 3/150 2026-03-15 18:16 by JourneyLucky
[考研] 0703化学调剂,求各位老师收留 +7 秋有木北 2026-03-14 7/350 2026-03-15 17:30 by 小物理化学
[考研] 中科大材料专硕319求调剂 +3 孟鑫材料 2026-03-13 3/150 2026-03-14 18:10 by houyaoxu
[考研] 255求调剂 +3 李嘉慧, 2026-03-12 4/200 2026-03-14 16:58 by 有只狸奴
[考研] 一志愿哈工大材料324分求调剂 +5 闫旭东 2026-03-14 5/250 2026-03-14 14:53 by 木瓜膏
[考研] 337一志愿华南理工材料求调剂(有希望2吗?) +3 mysdl 2026-03-09 3/150 2026-03-14 02:53 by JourneyLucky
[考研] 293求调剂 +5 上班不着吉 2026-03-09 5/250 2026-03-14 02:37 by JourneyLucky
[考研] 332分材料工程调剂 +3 莓好时光海苔 2026-03-09 3/150 2026-03-14 02:03 by JourneyLucky
[考研] 一志愿郑大070303,338分,求调剂 +4 dadawaf 2026-03-10 5/250 2026-03-14 01:20 by lsw010101
[考研] b区环境工程求调剂 +4 Maps1 2026-03-10 6/300 2026-03-14 00:23 by JourneyLucky
[考研] 311求调剂 +8 zchqwer 2026-03-10 8/400 2026-03-14 00:01 by JourneyLucky
[考研] 279求调剂 +3 Dizzy123@ 2026-03-10 3/150 2026-03-13 23:02 by JourneyLucky
[考研] 329求调剂 +3 miaodesi 2026-03-12 4/200 2026-03-13 20:53 by 18595523086
[考研] 0817化学工程与技术考研312分调剂 +3 T123 tt 2026-03-12 3/150 2026-03-13 10:49 by houyaoxu
[考研] 321求调剂(食品/专硕) +3 xc321 2026-03-12 6/300 2026-03-13 08:45 by xc321
[考研] 333求调剂 +3 152697 2026-03-12 4/200 2026-03-13 07:08 by Iveryant
信息提示
请填处理意见