24小时热门版块排行榜    

查看: 2779  |  回复: 12

yqkwww

金虫 (正式写手)

[求助] 诚心求助:半导体薄膜厚度测试

请教怎么测试薄膜厚度呢?用的基体是玻璃基体,需要测试吸光系数,看文献说需要测出薄膜厚度
回复此楼
change myself if I am stocked!
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

hanyuabc

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
吸光系数a=1/d*ln1/T  d是薄膜厚度 T是透过率
2楼2011-12-21 21:09:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lishaowen

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
做一个台阶,用台阶仪测试
3楼2011-12-21 21:43:51
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

MANOWAR

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
使用椭圆偏振仪。
4楼2011-12-21 22:02:55
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

studyforever

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
一般的SEM看截面不都能够看厚度
思想决定深度,性格决定人生!
5楼2011-12-22 10:00:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zhusimei1985

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
用中性笔划一道杠,镀完膜之后擦去,再用白光干涉仪测
6楼2011-12-22 10:26:29
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

竹林风bamboo

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
若是多层的 可以用XRD 小角测单层厚度 再乘以层数就可以了
天道酬勤
7楼2011-12-22 19:14:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

紫荆空间

银虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
用扫描电镜就可以吧,测试断面
8楼2011-12-23 12:02:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

nanodot

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
如果你要做TEM的话,做截面应该是比较准确的。
9楼2011-12-23 13:45:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yangguang53

金虫 (小有名气)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
如果不想毁坏表面只能用椭圆仪,台阶仪必须要划一道,这个我测试过。不知道你这个薄膜是什么材料
10楼2011-12-25 09:54:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 yqkwww 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 本人考085602 化学工程 专硕 +21 不知道叫什么! 2026-03-15 23/1150 2026-03-22 00:12 by BruceLiu320
[考研] 资源与环境 调剂申请(333分) +5 holy J 2026-03-21 5/250 2026-03-21 22:42 by Catalysis25
[考研] 求调剂 +3 13341 2026-03-20 3/150 2026-03-21 18:28 by 学员8dgXkO
[考研] 材料 271求调剂 +5 展信悦_ 2026-03-21 5/250 2026-03-21 17:29 by 学员8dgXkO
[考研] 306求0703调剂一志愿华中师范 +5 纸鱼ly 2026-03-21 5/250 2026-03-21 17:11 by 学员8dgXkO
[考研] 求调剂 +3 .m.. 2026-03-21 4/200 2026-03-21 16:25 by barlinike
[考研] 330求调剂0854 +3 assdll 2026-03-21 3/150 2026-03-21 13:01 by 搏击518
[考研] 324分 085600材料化工求调剂 +4 llllkkkhh 2026-03-18 4/200 2026-03-21 01:24 by JourneyLucky
[考研] 304求调剂 +6 曼殊2266 2026-03-18 6/300 2026-03-21 00:32 by JourneyLucky
[考研] 294求调剂材料与化工专硕 +15 陌の森林 2026-03-18 15/750 2026-03-20 23:28 by JourneyLucky
[考研] A区线材料学调剂 +5 周周无极 2026-03-20 5/250 2026-03-20 21:33 by laoshidan
[考研] 一志愿华中农业071010,总分320求调剂 +3 困困困困坤坤 2026-03-20 3/150 2026-03-20 20:38 by 学员8dgXkO
[考研] 材料与化工专硕调剂 +7 heming3743 2026-03-16 7/350 2026-03-20 19:31 by zhukairuo
[考研] 广西大学家禽遗传育种课题组2026年硕士招生(接收计算机专业调剂) +3 123阿标 2026-03-17 3/150 2026-03-20 15:58 by 飞行琦
[考研] 08工学调剂 +5 用户573181 2026-03-20 5/250 2026-03-20 15:47 by xia_2003
[考博] 招收博士1-2人 +3 QGZDSYS 2026-03-18 3/150 2026-03-20 11:58 by 呱呱呱呱叫
[考研] 一志愿福大288有机化学,求调剂 +3 小木虫200408204 2026-03-18 3/150 2026-03-19 13:31 by houyaoxu
[考研] 0854,计算机类招收调剂 +3 胡辣汤放糖 2026-03-15 6/300 2026-03-18 12:09 by 上岸上岸……..
[考研] 326求调剂 +5 上岸的小葡 2026-03-15 6/300 2026-03-17 17:26 by ruiyingmiao
[考研] 一志愿,福州大学材料专硕339分求调剂 +3 木子momo青争 2026-03-15 3/150 2026-03-17 07:52 by laoshidan
信息提示
请填处理意见