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yqkwww

金虫 (正式写手)

[求助] 诚心求助:半导体薄膜厚度测试

请教怎么测试薄膜厚度呢?用的基体是玻璃基体,需要测试吸光系数,看文献说需要测出薄膜厚度
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change myself if I am stocked!
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MANOWAR

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
使用椭圆偏振仪。
4楼2011-12-21 22:02:55
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hanyuabc

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
吸光系数a=1/d*ln1/T  d是薄膜厚度 T是透过率
2楼2011-12-21 21:09:38
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lishaowen

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
做一个台阶,用台阶仪测试
3楼2011-12-21 21:43:51
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studyforever

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
一般的SEM看截面不都能够看厚度
思想决定深度,性格决定人生!
5楼2011-12-22 10:00:18
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