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新虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by lishaowen at 2011-12-21 21:43:51
做一个台阶,用台阶仪测试

您好,我也是做薄膜的,想测试厚度,可是似乎薄膜不是很均匀,用扫面电镜测得也不准确,请问有什么更精确的测试方法吗?谢谢
11楼2015-12-25 10:28:18
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新虫 (初入文坛)

引用回帖:
10楼: Originally posted by yangguang53 at 2011-12-25 09:54:12
如果不想毁坏表面只能用椭圆仪,台阶仪必须要划一道,这个我测试过。不知道你这个薄膜是什么材料

你好,我也是做薄膜的,请问一下台阶仪测量的最小厚度是多少?还有怎样可是精确点呢?我要做纳米尺度的薄膜,谢谢!
12楼2015-12-25 10:31:00
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木有一只

新虫 (初入文坛)

1.椭偏仪
2.SEM
3.构造台阶,nm级厚度薄膜用AFM,?级用台阶仪。
薄膜如果是后来长上去的,生长的时候加个陪片,一般用硅片,拿去测椭偏或反射谱都比直接测要好拟合。

发自小木虫Android客户端
13楼2015-12-26 01:43:15
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