诚心求助：半导体薄膜厚度测试 - 功能材料 - 功能薄膜 - 第2页小木虫论坛-学术科研互动平台

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新虫 (初入文坛)

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3楼: Originally posted by lishaowen at 2011-12-21 21:43:51
做一个台阶，用台阶仪测试

您好，我也是做薄膜的，想测试厚度，可是似乎薄膜不是很均匀，用扫面电镜测得也不准确，请问有什么更精确的测试方法吗？谢谢

11楼2015-12-25 10:28:18

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新虫 (初入文坛)

引用回帖:

10楼: Originally posted by yangguang53 at 2011-12-25 09:54:12
如果不想毁坏表面只能用椭圆仪，台阶仪必须要划一道，这个我测试过。不知道你这个薄膜是什么材料

你好，我也是做薄膜的，请问一下台阶仪测量的最小厚度是多少？还有怎样可是精确点呢？我要做纳米尺度的薄膜，谢谢！

12楼2015-12-25 10:31:00

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新虫 (初入文坛)

1.椭偏仪
2.SEM
3.构造台阶，nm级厚度薄膜用AFM,?级用台阶仪。
薄膜如果是后来长上去的，生长的时候加个陪片，一般用硅片，拿去测椭偏或反射谱都比直接测要好拟合。

发自小木虫Android客户端

13楼2015-12-26 01:43:15

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