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yqkwww

金虫 (正式写手)

[求助] 诚心求助:半导体薄膜厚度测试

请教怎么测试薄膜厚度呢?用的基体是玻璃基体,需要测试吸光系数,看文献说需要测出薄膜厚度
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18710812774

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by lishaowen at 2011-12-21 21:43:51
做一个台阶,用台阶仪测试

您好,我也是做薄膜的,想测试厚度,可是似乎薄膜不是很均匀,用扫面电镜测得也不准确,请问有什么更精确的测试方法吗?谢谢
11楼2015-12-25 10:28:18
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hanyuabc

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
吸光系数a=1/d*ln1/T  d是薄膜厚度 T是透过率
2楼2011-12-21 21:09:38
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lishaowen

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
做一个台阶,用台阶仪测试
3楼2011-12-21 21:43:51
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MANOWAR

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
使用椭圆偏振仪。
4楼2011-12-21 22:02:55
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