24小时热门版块排行榜    

查看: 2657  |  回复: 12
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

yqkwww

金虫 (正式写手)

[求助] 诚心求助:半导体薄膜厚度测试

请教怎么测试薄膜厚度呢?用的基体是玻璃基体,需要测试吸光系数,看文献说需要测出薄膜厚度
回复此楼

» 猜你喜欢

change myself if I am stocked!
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

木有一只

新虫 (初入文坛)

1.椭偏仪
2.SEM
3.构造台阶,nm级厚度薄膜用AFM,?级用台阶仪。
薄膜如果是后来长上去的,生长的时候加个陪片,一般用硅片,拿去测椭偏或反射谱都比直接测要好拟合。

发自小木虫Android客户端
13楼2015-12-26 01:43:15
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 13 个回答

hanyuabc

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
吸光系数a=1/d*ln1/T  d是薄膜厚度 T是透过率
2楼2011-12-21 21:09:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lishaowen

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
做一个台阶,用台阶仪测试
3楼2011-12-21 21:43:51
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

MANOWAR

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
使用椭圆偏振仪。
4楼2011-12-21 22:02:55
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
信息提示
请填处理意见