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[求助]
诚心求助：半导体薄膜厚度测试
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| 请教怎么测试薄膜厚度呢？用的基体是玻璃基体，需要测试吸光系数，看文献说需要测出薄膜厚度 |
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1.椭偏仪 2.SEM 3.构造台阶，nm级厚度薄膜用AFM,?级用台阶仪。 薄膜如果是后来长上去的，生长的时候加个陪片，一般用硅片，拿去测椭偏或反射谱都比直接测要好拟合。 发自小木虫Android客户端 |
13楼2015-12-26 01:43:15
hanyuabc
木虫 (正式写手)
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2楼2011-12-21 21:09:38
3楼2011-12-21 21:43:51
4楼2011-12-21 22:02:55