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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 诚心求助：半导体薄膜厚度测试
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yqkwww

金虫 (正式写手)

[求助] 诚心求助：半导体薄膜厚度测试

请教怎么测试薄膜厚度呢？用的基体是玻璃基体，需要测试吸光系数，看文献说需要测出薄膜厚度
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change myself if I am stocked！
1楼 2011-12-21 20:07:55
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nanodot

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
如果你要做TEM的话，做截面应该是比较准确的。
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9楼2011-12-23 13:45:30
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hanyuabc

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
吸光系数a=1/d*ln1/T  d是薄膜厚度 T是透过率
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2楼2011-12-21 21:09:38
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lishaowen

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
做一个台阶，用台阶仪测试
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3楼2011-12-21 21:43:51
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MANOWAR

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
使用椭圆偏振仪。
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4楼2011-12-21 22:02:55
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