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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 基础研究 » 半导体氧化锌薄膜
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weibaobao

木虫 (著名写手)

[交流] 半导体氧化锌薄膜

最近做的膜层30nm厚，方阻不到30欧，计算得到的电阻率值达到10的负四次方，还是在ITO玻璃上面涂的膜，让人匪夷所思阿，看到的文献电阻率都是掺杂铝等后电阻率的值才那么低。。。。。。。。。。旋涂几次退火后膜层厚度没有变化
三四五层只增加到50左右。。。。

[ Last edited by weibaobao on 2012-8-29 at 20:53 ]
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1楼 2012-08-27 17:39:05
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辉太狼121

银虫 (小有名气)
★
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请教你这40nm厚的薄膜是长上去的还是溅射上去的呢？谢谢。
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2楼2012-08-27 21:16:15
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weibaobao

木虫 (著名写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 辉太狼121 at 2012-08-27 21:16:15
请教你这40nm厚的薄膜是长上去的还是溅射上去的呢？谢谢。

旋涂法
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3楼2012-08-28 08:13:24
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zhuzhen

木虫 (正式写手)
★ ★ ★ ★ ★ ★
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nofrunolif: 金币+1, 欢迎交流 2012-08-28 10:17:49
weibaobao: 金币+1 2012-08-28 11:10:10
weibaobao: 金币+3 2012-09-22 09:21:55
注意啦，你用的衬底是导电的，ito电阻率就在10e-4。另外透过率与你参照物有关，衬底的话有可能超过100
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4楼2012-08-28 08:42:18
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weibaobao

木虫 (著名写手)
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4楼: Originally posted by zhuzhen at 2012-08-28 08:42:18
注意啦，你用的衬底是导电的，ito电阻率就在10e-4。另外透过率与你参照物有关，衬底的话有可能超过100

那扣除我ITO玻璃，我的氧化锌膜层的电阻率岂不是更小了？
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5楼2012-08-28 11:09:50
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鹰羽龙

木虫 (著名写手)
★ ★
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weibaobao: 金币+1 2012-08-28 15:38:08
可能是涂的氧化锌膜不均匀，测的是ITO 膜的电阻。以ITO 膜做背景测透光度是可以到100%的。40nm厚是怎么测的？
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6楼2012-08-28 13:48:05
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weibaobao

木虫 (著名写手)
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6楼: Originally posted by 鹰羽龙 at 2012-08-28 13:48:05
可能是涂的氧化锌膜不均匀，测的是ITO 膜的电阻。以ITO 膜做背景测透光度是可以到100%的。40nm厚是怎么测的？

这个可以排除，因为我测的时候一张膜片上测好几个点，都是这样差不多的值，主要是我直接用ITO测透光率没有达到那么高，我上面说了，ITO只只经过清洁处理，而我的膜层是经过退火处理的，我直接拿未经退火的ITO玻璃作为空白是不是有影响
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7楼2012-08-28 13:55:34
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鹰羽龙

木虫 (著名写手)
★ ★ ★ ★ ★ ★
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weibaobao: 金币+5 2012-09-22 09:19:43
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7楼: Originally posted by weibaobao at 2012-08-28 13:55:34
这个可以排除，因为我测的时候一张膜片上测好几个点，都是这样差不多的值，主要是我直接用ITO测透光率没有达到那么高，我上面说了，ITO只只经过清洁处理，而我的膜层是经过退火处理的，我直接拿未经退火的ITO玻璃作 ...

40纳米是怎么测的？没涂上的话测几个点值也都差不多。做个退火后的XRD看看氧化锌的峰？没掺杂的话40nm厚不可能达到30欧的，那样比ITO还厉害，测个空白ITO 方阻
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8楼2012-08-28 15:18:49
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weibaobao

木虫 (著名写手)
引用回帖:
8楼: Originally posted by 鹰羽龙 at 2012-08-28 15:18:49
40纳米是怎么测的？没涂上的话测几个点值也都差不多。做个退火后的XRD看看氧化锌的峰？没掺杂的话40nm厚不可能达到30欧的，那样比ITO还厉害，测个空白ITO 方阻...

涂上肯定是涂上了，从高倍显微镜下看得到，而且看都能看出来跟空白玻璃是不一样的，我现在就等着多旋几层测试方阻看看，这个数据我看着也有点不可思议
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9楼2012-08-28 15:23:18
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鹰羽龙

木虫 (著名写手)
★ ★ ★
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weibaobao: 金币+2 2012-09-22 09:22:21
引用回帖:
9楼: Originally posted by weibaobao at 2012-08-28 15:23:18
涂上肯定是涂上了，从高倍显微镜下看得到，而且看都能看出来跟空白玻璃是不一样的，我现在就等着多旋几层测试方阻看看，这个数据我看着也有点不可思议...

妹纸，ITO膜退火之后形貌也会变化的，电阻也会升高的（空气中退火），显微镜下并不能说明涂膜的连续性，不是打击你的意思，只是让你多考虑考虑
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10楼2012-08-28 15:33:23
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weibaobao

木虫 (著名写手)
引用回帖:
10楼: Originally posted by 鹰羽龙 at 2012-08-28 15:33:23
妹纸，ITO膜退火之后形貌也会变化的，电阻也会升高的（空气中退火），显微镜下并不能说明涂膜的连续性，不是打击你的意思，只是让你多考虑考虑...

这个可以有
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11楼2012-08-28 15:39:29
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weibaobao

木虫 (著名写手)
引用回帖:
10楼: Originally posted by 鹰羽龙 at 2012-08-28 15:33:23
妹纸，ITO膜退火之后形貌也会变化的，电阻也会升高的（空气中退火），显微镜下并不能说明涂膜的连续性，不是打击你的意思，只是让你多考虑考虑...

这个可以有
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12楼2012-08-28 15:39:54
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zhuzhen

木虫 (正式写手)
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weibaobao: 金币+3 2012-09-22 09:23:13
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5楼: Originally posted by weibaobao at 2012-08-27 15:09:50
那扣除我ITO玻璃，我的氧化锌膜层的电阻率岂不是更小了？...

太薄，肯定有测试电流经过衬底，那类似并联吧，下次加个绝缘玻璃陪片对比下吧。多层膜某些波段会增透的，所以以空气做背景线吧，另外单独表征薄膜透过率也没意义啊，应用时你又不剥离，而是作为一个整体样品
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13楼2012-08-28 16:57:07
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weibaobao

木虫 (著名写手)
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13楼: Originally posted by zhuzhen at 2012-08-28 16:57:07
太薄，肯定有测试电流经过衬底，那类似并联吧，下次加个绝缘玻璃陪片对比下吧。多层膜某些波段会增透的，所以以空气做背景线吧，另外单独表征薄膜透过率也没意义啊，应用时你又不剥离，而是作为一个整体样品...

多谢，我用白玻璃看看
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14楼2012-08-28 23:10:13
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weibaobao

木虫 (著名写手)
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13楼: Originally posted by zhuzhen at 2012-08-28 16:57:07
太薄，肯定有测试电流经过衬底，那类似并联吧，下次加个绝缘玻璃陪片对比下吧。多层膜某些波段会增透的，所以以空气做背景线吧，另外单独表征薄膜透过率也没意义啊，应用时你又不剥离，而是作为一个整体样品...

其实这也只是我器件中的一层而已，而且肉眼也看出来明显比没涂膜的ITO透亮
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15楼2012-08-29 08:18:52
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weilizang423

新虫 (初入文坛)
★
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我也想在ITO上做氧化锌薄膜，但是涨不上，也打算旋涂了，能否分享你的实验方法啊
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16楼2014-08-27 09:30:49
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