24小时热门版块排行榜    

查看: 2116  |  回复: 15
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

weibaobao

木虫 (著名写手)


[交流] 半导体氧化锌薄膜

最近做的膜层30nm厚,方阻不到30欧,计算得到的电阻率值达到10的负四次方,还是在ITO玻璃上面涂的膜,让人匪夷所思阿,看到的文献电阻率都是掺杂铝等后电阻率的值才那么低。。。。。。。。。。旋涂几次退火后膜层厚度没有变化
三四五层只增加到50左右。。。。

[ Last edited by weibaobao on 2012-8-29 at 20:53 ]
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

» 抢金币啦!回帖就可以得到:

查看全部散金贴

已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

weibaobao

木虫 (著名写手)


引用回帖:
8楼: Originally posted by 鹰羽龙 at 2012-08-28 15:18:49
40纳米是怎么测的?没涂上的话测几个点值也都差不多。做个退火后的XRD看看氧化锌的峰?没掺杂的话40nm厚不可能达到30欧的,那样比ITO还厉害,测个空白ITO 方阻...

涂上肯定是涂上了,从高倍显微镜下看得到,而且看都能看出来跟空白玻璃是不一样的,我现在就等着多旋几层测试方阻看看,这个数据我看着也有点不可思议
9楼2012-08-28 15:23:18
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 16 个回答

辉太狼121

银虫 (小有名气)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
请教你这40nm厚的薄膜是长上去的还是溅射上去的呢?谢谢。
2楼2012-08-27 21:16:15
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

weibaobao

木虫 (著名写手)


引用回帖:
2楼: Originally posted by 辉太狼121 at 2012-08-27 21:16:15
请教你这40nm厚的薄膜是长上去的还是溅射上去的呢?谢谢。

旋涂法
3楼2012-08-28 08:13:24
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zhuzhen

木虫 (正式写手)


★ ★ ★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
nofrunolif: 金币+1, 欢迎交流 2012-08-28 10:17:49
weibaobao: 金币+1 2012-08-28 11:10:10
weibaobao: 金币+3 2012-09-22 09:21:55
注意啦,你用的衬底是导电的,ito电阻率就在10e-4。另外透过率与你参照物有关,衬底的话有可能超过100
4楼2012-08-28 08:42:18
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 0856化工专硕求调剂 +8 董boxing 2026-03-01 8/400 2026-03-01 16:49 by caszguilin
[基金申请] 刚录用,没有期刊号,但是在线可看的论文可以放为代表作吗 10+3 arang1 2026-03-01 3/150 2026-03-01 16:43 by babero
[考研] 0856求调剂285 +7 吕仔龙 2026-02-28 7/350 2026-03-01 16:04 by hmn_wj
[考研] 311求调剂 +6 亭亭亭01 2026-03-01 6/300 2026-03-01 15:41 by 324616
[考研] 0856调剂 +4 刘梦微 2026-02-28 4/200 2026-03-01 15:35 by 吸一口猫气
[考研] 303求调剂 +4 今夏不夏 2026-03-01 4/200 2026-03-01 14:46 by 嘟嘟小浣熊
[考研] 求调剂 +6 repeatt?t 2026-02-28 6/300 2026-03-01 14:37 by Sakura绘
[考研] 295复试调剂 +3 简木ChuFront 2026-03-01 3/150 2026-03-01 14:27 by zzxw520th
[考研] 298求调剂 +9 人间唯你是清欢 2026-02-28 12/600 2026-03-01 14:23 by Ducount.Y
[考研] 材料284求调剂,一志愿郑州大学英一数二专硕 +10 想上岸的土拨鼠 2026-02-28 10/500 2026-03-01 14:12 by yc258
[考研] 0856材料求调剂 +3 麻辣鱿鱼 2026-02-28 3/150 2026-03-01 14:06 by yc258
[考研] 化工299分求调剂 一志愿985落榜 +4 嘻嘻(*^ω^*) 2026-03-01 4/200 2026-03-01 13:15 by wang_dand
[考研] 306分材料调剂 +3 chuanzhu川烛 2026-03-01 4/200 2026-03-01 12:32 by houyaoxu
[考研] 302材料工程求调剂 +4 Doleres 2026-03-01 5/250 2026-03-01 11:52 by liqiongjy
[考研] 298求调剂 +5 axyz3 2026-02-28 5/250 2026-03-01 06:45 by 刘兵
[基金申请] 面上模板改不了页边距吧? +5 ieewxg 2026-02-25 6/300 2026-03-01 00:10 by addressing
[考研] 307求调剂 +4 73372112 2026-02-28 6/300 2026-03-01 00:04 by ll247
[考博] 26申博 +4 想申博! 2026-02-26 4/200 2026-02-28 21:37 by limorning
[考研] 264求调剂 +3 巴拉巴拉根556 2026-02-28 3/150 2026-02-28 21:31 by gaoxiaoniuma
[考研] 085600材料工程一志愿中科大总分312求调剂 +8 吃宵夜1 2026-02-28 10/500 2026-02-28 20:27 by L135790
信息提示
请填处理意见