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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 基础研究 » 半导体氧化锌薄膜
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weibaobao

木虫 (著名写手)

[交流] 半导体氧化锌薄膜

最近做的膜层30nm厚，方阻不到30欧，计算得到的电阻率值达到10的负四次方，还是在ITO玻璃上面涂的膜，让人匪夷所思阿，看到的文献电阻率都是掺杂铝等后电阻率的值才那么低。。。。。。。。。。旋涂几次退火后膜层厚度没有变化
三四五层只增加到50左右。。。。

[ Last edited by weibaobao on 2012-8-29 at 20:53 ]
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1楼 2012-08-27 17:39:05
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鹰羽龙

木虫 (著名写手)
★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
weibaobao: 金币+2 2012-09-22 09:22:21
引用回帖:
9楼: Originally posted by weibaobao at 2012-08-28 15:23:18
涂上肯定是涂上了，从高倍显微镜下看得到，而且看都能看出来跟空白玻璃是不一样的，我现在就等着多旋几层测试方阻看看，这个数据我看着也有点不可思议...

妹纸，ITO膜退火之后形貌也会变化的，电阻也会升高的（空气中退火），显微镜下并不能说明涂膜的连续性，不是打击你的意思，只是让你多考虑考虑
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10楼2012-08-28 15:33:23
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辉太狼121

银虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
请教你这40nm厚的薄膜是长上去的还是溅射上去的呢？谢谢。
赞一下 回复此楼
2楼2012-08-27 21:16:15
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weibaobao

木虫 (著名写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 辉太狼121 at 2012-08-27 21:16:15
请教你这40nm厚的薄膜是长上去的还是溅射上去的呢？谢谢。

旋涂法
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3楼2012-08-28 08:13:24
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zhuzhen

木虫 (正式写手)
★ ★ ★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
nofrunolif: 金币+1, 欢迎交流 2012-08-28 10:17:49
weibaobao: 金币+1 2012-08-28 11:10:10
weibaobao: 金币+3 2012-09-22 09:21:55
注意啦，你用的衬底是导电的，ito电阻率就在10e-4。另外透过率与你参照物有关，衬底的话有可能超过100
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4楼2012-08-28 08:42:18
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