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weibaobao

木虫 (著名写手)


[交流] 半导体氧化锌薄膜

最近做的膜层30nm厚,方阻不到30欧,计算得到的电阻率值达到10的负四次方,还是在ITO玻璃上面涂的膜,让人匪夷所思阿,看到的文献电阻率都是掺杂铝等后电阻率的值才那么低。。。。。。。。。。旋涂几次退火后膜层厚度没有变化
三四五层只增加到50左右。。。。

[ Last edited by weibaobao on 2012-8-29 at 20:53 ]
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weibaobao

木虫 (著名写手)


引用回帖:
6楼: Originally posted by 鹰羽龙 at 2012-08-28 13:48:05
可能是涂的氧化锌膜不均匀,测的是ITO 膜的电阻。以ITO 膜做背景测透光度是可以到100%的。40nm厚是怎么测的?

这个可以排除,因为我测的时候一张膜片上测好几个点,都是这样差不多的值,主要是我直接用ITO测透光率没有达到那么高,我上面说了,ITO只只经过清洁处理,而我的膜层是经过退火处理的,我直接拿未经退火的ITO玻璃作为空白是不是有影响
7楼2012-08-28 13:55:34
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辉太狼121

银虫 (小有名气)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
请教你这40nm厚的薄膜是长上去的还是溅射上去的呢?谢谢。
2楼2012-08-27 21:16:15
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weibaobao

木虫 (著名写手)


引用回帖:
2楼: Originally posted by 辉太狼121 at 2012-08-27 21:16:15
请教你这40nm厚的薄膜是长上去的还是溅射上去的呢?谢谢。

旋涂法
3楼2012-08-28 08:13:24
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zhuzhen

木虫 (正式写手)


★ ★ ★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
nofrunolif: 金币+1, 欢迎交流 2012-08-28 10:17:49
weibaobao: 金币+1 2012-08-28 11:10:10
weibaobao: 金币+3 2012-09-22 09:21:55
注意啦,你用的衬底是导电的,ito电阻率就在10e-4。另外透过率与你参照物有关,衬底的话有可能超过100
4楼2012-08-28 08:42:18
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