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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 基础研究 » 半导体氧化锌薄膜
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weibaobao

木虫 (著名写手)

[交流] 半导体氧化锌薄膜

最近做的膜层30nm厚，方阻不到30欧，计算得到的电阻率值达到10的负四次方，还是在ITO玻璃上面涂的膜，让人匪夷所思阿，看到的文献电阻率都是掺杂铝等后电阻率的值才那么低。。。。。。。。。。旋涂几次退火后膜层厚度没有变化
三四五层只增加到50左右。。。。

[ Last edited by weibaobao on 2012-8-29 at 20:53 ]
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1楼 2012-08-27 17:39:05
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鹰羽龙

木虫 (著名写手)
★ ★ ★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
weibaobao: 金币+5 2012-09-22 09:19:43
引用回帖:
7楼: Originally posted by weibaobao at 2012-08-28 13:55:34
这个可以排除，因为我测的时候一张膜片上测好几个点，都是这样差不多的值，主要是我直接用ITO测透光率没有达到那么高，我上面说了，ITO只只经过清洁处理，而我的膜层是经过退火处理的，我直接拿未经退火的ITO玻璃作 ...

40纳米是怎么测的？没涂上的话测几个点值也都差不多。做个退火后的XRD看看氧化锌的峰？没掺杂的话40nm厚不可能达到30欧的，那样比ITO还厉害，测个空白ITO 方阻
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8楼2012-08-28 15:18:49
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辉太狼121

银虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
请教你这40nm厚的薄膜是长上去的还是溅射上去的呢？谢谢。
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2楼2012-08-27 21:16:15
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weibaobao

木虫 (著名写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 辉太狼121 at 2012-08-27 21:16:15
请教你这40nm厚的薄膜是长上去的还是溅射上去的呢？谢谢。

旋涂法
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3楼2012-08-28 08:13:24
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zhuzhen

木虫 (正式写手)
★ ★ ★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
nofrunolif: 金币+1, 欢迎交流 2012-08-28 10:17:49
weibaobao: 金币+1 2012-08-28 11:10:10
weibaobao: 金币+3 2012-09-22 09:21:55
注意啦，你用的衬底是导电的，ito电阻率就在10e-4。另外透过率与你参照物有关，衬底的话有可能超过100
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4楼2012-08-28 08:42:18
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