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fsfsfs123

金虫 (正式写手)

热爱科学

[求助] 直流磁控溅射 铝靶放电

买了一台国产真空磁控溅射镀膜机,使用直流源镀铝膜,但是铝靶总是一直在放电,输出功率也不稳定(输出功率只有60瓦时便开始放电),求教高人指点:如何解决,谢谢哈!!
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xlys-forever

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
yjh8327: 金币+1, 鼓励发言。 2012-05-25 12:31:52
fsfsfs123: 金币+2, 有帮助 2012-05-25 21:44:24
可能与铝靶表面状态有关吧,铝靶表面是否清洗干净啊?
2楼2012-05-25 12:18:53
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fsfsfs123

金虫 (正式写手)

热爱科学

引用回帖:
2楼: Originally posted by xlys-forever at 2012-05-25 12:18:53
可能与铝靶表面状态有关吧,铝靶表面是否清洗干净啊?

是和靶材表面清洁程度有关。不过,今天找到问题所在了,是本底真空度有些低,抽到十的负四后,就好使了。不过还要谢谢你.
3楼2012-05-25 21:44:01
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