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fsfsfs123金虫 (正式写手)
热爱科学
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直流磁控溅射 铝靶放电
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| 买了一台国产真空磁控溅射镀膜机,使用直流源镀铝膜,但是铝靶总是一直在放电,输出功率也不稳定(输出功率只有60瓦时便开始放电),求教高人指点:如何解决,谢谢哈!! |
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2楼2012-05-25 12:18:53
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