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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 工艺技术 » 膜技术 » 直流磁控溅射 铝靶放电
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fsfsfs123

金虫 (正式写手)

热爱科学

[求助] 直流磁控溅射 铝靶放电

买了一台国产真空磁控溅射镀膜机，使用直流源镀铝膜，但是铝靶总是一直在放电，输出功率也不稳定（输出功率只有60瓦时便开始放电），求教高人指点：如何解决，谢谢哈！！
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1楼 2012-05-24 22:17:29
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xlys-forever

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
yjh8327: 金币+1, 鼓励发言。 2012-05-25 12:31:52
fsfsfs123: 金币+2, ★有帮助 2012-05-25 21:44:24
可能与铝靶表面状态有关吧，铝靶表面是否清洗干净啊？
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2楼2012-05-25 12:18:53
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fsfsfs123

金虫 (正式写手)

热爱科学
引用回帖:
2楼: Originally posted by xlys-forever at 2012-05-25 12:18:53
可能与铝靶表面状态有关吧，铝靶表面是否清洗干净啊？

是和靶材表面清洁程度有关。不过，今天找到问题所在了，是本底真空度有些低，抽到十的负四后，就好使了。不过还要谢谢你.
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3楼2012-05-25 21:44:01
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