| 查看: 2266 | 回复: 5 | ||||||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||||||
leongoall专家顾问 (知名作家)
P-M-I之初生牛犊
|
[求助]
射频磁控溅射镀金属靶材如何建立自偏压？
|
|||||
|
在射频磁控溅射过程中，由于电子的迁移速度远大于离子的迁移速度，使得正半周期积累到靶上的电子数量远大于负半周期积累到靶材上的离子数量，使得射频磁控溅射过程中建立负的自偏压。 我的问题是，金属靶材作为导体不应该存在电荷积累过程，也就是说电荷在接触到靶材的瞬间就会传导出去，那为什么射频镀金属靶材也能建立自偏压呢？望各位高手指点，谢谢！ |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 薄膜材料的表征 | 材料制备 | 呵呵 | 薄膜材料和器件制备 |
» 猜你喜欢
288求调剂
已经有7人回复
-
321求调剂
已经有8人回复
-
一志愿北京化工大学0703化学318分，有科研经历，求调剂
已经有3人回复
-
307求调剂
已经有6人回复
-
266求调剂
已经有10人回复
-
085601材料工程专硕求调剂
已经有9人回复
-
本人考085602 化学工程 专硕
已经有19人回复
-
一志愿天津大学化学工艺专业（081702）315分求调剂
已经有11人回复
-
材料专硕274一志愿陕西师范大学求调剂
已经有7人回复
-
一志愿西安交通大学材料工程专业 282分求调剂
已经有7人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 磁控溅射靶材的加工问题
已经有6人回复
- 如何用磁控溅射镀制氧化镍薄膜
已经有6人回复
- 做射频磁控溅射的金属铟靶材短路，融化了
已经有9人回复
- 求助射频磁控溅射氧化镁的方法
已经有3人回复
- 溅射金属靶的辉光颜色问题
已经有7人回复
- 请教一个关于磁控溅射的问题 在靶材上贴片
已经有16人回复
- 在反应磁控溅射中，如何计算混合气体中的气体偏压？
已经有7人回复
- 关于金属靶磁控溅射问题
已经有13人回复
- 射频磁控溅射后为什么靶材表面有黑膜和彩色光圈
已经有33人回复
- 射频磁控溅射陶瓷靶材开裂
已经有18人回复
- 直流磁控溅射NiFe合金靶材厚度应为多少啊？
已经有7人回复
- 直流磁控溅射与射频磁控溅射镀银
已经有15人回复
- 射频磁控溅射ZAO陶瓷靶时遇到的一些问题
已经有10人回复
- 直流磁控溅射 溅射无法起弧 靶材刻蚀严重
已经有13人回复
- 直流磁控溅射镀膜总是被氧化
已经有42人回复
- 磁控溅射镀氧化铝
已经有35人回复
- 【求助】射频磁控溅射的靶材一般能用几次？或者多久？
已经有9人回复
- 【求助】射频溅射反射功率过高，不起辉，无自偏压
已经有12人回复
- 【资源】推荐一批磁控溅射靶材相关的论坛or网站
已经有6人回复
5楼2012-04-19 12:30:39
leongoall
专家顾问 (知名作家)
P-M-I之初生牛犊
- 应助: 144 (高中生)
- 贵宾: 0.055
- 金币: 7602.7
- 散金: 627
- 红花: 35
- 沙发: 3
- 帖子: 5347
- 在线: 1063小时
- 虫号: 490263
- 注册: 2008-01-03
- 性别: GG
- 专业: 等离子体物理
- 管辖: 物理
2楼2012-01-18 18:08:31
lawyer1793polo
银虫 (著名写手)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 31576.7
- 帖子: 2791
- 在线: 100.7小时
- 虫号: 144223
- 注册: 2005-12-23
- 专业: 等离子体物理
3楼2012-01-18 23:35:18
leongoall
专家顾问 (知名作家)
P-M-I之初生牛犊
- 应助: 144 (高中生)
- 贵宾: 0.055
- 金币: 7602.7
- 散金: 627
- 红花: 35
- 沙发: 3
- 帖子: 5347
- 在线: 1063小时
- 虫号: 490263
- 注册: 2008-01-03
- 性别: GG
- 专业: 等离子体物理
- 管辖: 物理
4楼2012-01-19 00:58:37
