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一念成了馍

银虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射靶材的制备 已有3人参与

最近看磁控溅射靶材的制备的文献,其中有熔融铸造法和粉末冶金法,很想知道目前主要用的什么方法工艺。求大神解惑,或者求这方面的资源。

磁控溅射靶材的制备


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molin-W

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

一般单质靶材主要还是用熔炼,成本低;合金类靶材就不行了,熔点不同,容易偏析。你是准备学这个专业吗
以初学者的心态
2楼2017-03-09 13:37:16
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yumanxi052

至尊木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖


一念成了馍: 金币+1, 有帮助 2017-03-10 23:48:22
用的较多的肯定是粉末冶金法,熔铸法出现偏析的话难以消除,在后续溅射过程中容易导致薄膜成分不均匀
像我们之前就是自己买粉 配粉 然后找同系的无机非的老师给烧的
3D打印 钛合金 钢 铝合金 固态相变 快速凝固 TEM
3楼2017-03-10 14:55:56
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shunsun

铁虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

市场的上金属靶大多是熔铸的,难熔金属靶,陶瓷靶大部分是粉末成型的.我也想搞这个,条件有限阿!!
糟心的工作!!!!!!!!!!!!
4楼2017-03-15 15:25:36
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