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新虫 (初入文坛)

[求助] 二氧化锡掺氟溅射靶材的制备问题

我用磁控溅射法制备二氧化锡薄膜,在靶材的制作上,1.如何将F掺入?2.如果用SnF2或SnF4作为F源,烧结温度和烧结时间多少? 求高手告知~~
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