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二氧化锡掺氟溅射靶材的制备问题
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| 我用磁控溅射法制备二氧化锡薄膜，在靶材的制作上，1.如何将F掺入？2.如果用SnF2或SnF4作为F源，烧结温度和烧结时间多少? 求高手告知~~ |
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