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新虫 (初入文坛)

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[求助] 二氧化锡掺氟溅射靶材的制备问题

我用磁控溅射法制备二氧化锡薄膜，在靶材的制作上，1.如何将F掺入？2.如果用SnF2或SnF4作为F源，烧结温度和烧结时间多少? 求高手告知~~

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1楼 2012-02-23 16:25:50

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