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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 综合资源 » 磁控溅射靶材的制备
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一念成了馍

银虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射靶材的制备 已有3人参与

最近看磁控溅射靶材的制备的文献，其中有熔融铸造法和粉末冶金法，很想知道目前主要用的什么方法工艺。求大神解惑，或者求这方面的资源。

磁控溅射靶材的制备


@hwweven 发自小木虫Android客户端
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1楼 2017-02-25 21:30:08
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shunsun

铁虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

市场的上金属靶大多是熔铸的,难熔金属靶,陶瓷靶大部分是粉末成型的.我也想搞这个,条件有限阿!!
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糟心的工作！！！！！！！！！！！！
4楼2017-03-15 15:25:36
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molin-W

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

一般单质靶材主要还是用熔炼，成本低；合金类靶材就不行了，熔点不同，容易偏析。你是准备学这个专业吗
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以初学者的心态
2楼2017-03-09 13:37:16
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yumanxi052

至尊木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

★
一念成了馍: 金币+1, ★有帮助 2017-03-10 23:48:22
用的较多的肯定是粉末冶金法，熔铸法出现偏析的话难以消除，在后续溅射过程中容易导致薄膜成分不均匀
像我们之前就是自己买粉 配粉 然后找同系的无机非的老师给烧的
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3楼2017-03-10 14:55:56
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