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RemoteOnly

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[交流] 相同的功率对不同的溅射靶材（Zn和ZnO）磁控溅射制得的ZnO薄膜有什么影响？？

在论文《ZnO缓冲层和退火处理对MgO薄膜结构的影响》中，笔者用的是Zn靶材，但是实验室只有ZnO靶材。我想知道功率对这两个靶材制备的ZnO薄膜有什么影响，还望有过相关研究或者做过相关实验的前辈给点指导啊

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or'1=1

1楼 2015-11-07 13:49:18

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