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[交流]
相同的功率对不同的溅射靶材(Zn和ZnO)磁控溅射制得的ZnO薄膜有什么影响??
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| 在论文《ZnO缓冲层和退火处理对MgO薄膜结构的影响》中,笔者用的是Zn靶材,但是实验室只有ZnO靶材。我想知道功率对这两个靶材制备的ZnO薄膜有什么影响,还望有过相关研究或者做过相关实验的前辈给点指导啊 |
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