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mcmmh2006铜虫 (初入文坛)
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[求助]
用磁控溅射法制备TiO2薄膜的靶材问题，需要有文献支持！
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本人经过试验知道用TiO2陶瓷靶的溅射速率比Ti靶的溅射速率快，想找下这方面的文献引用论证下，哪位高人能传份相关的文献给我，本人必有重谢！ [ Last edited by mcmmh2006 on 2012-3-7 at 10:26 ] |
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