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剥离法,在曝光显影之后,放一个星期之后还能镀膜然后剥离吗

作者 以战止戈
来源: 小木虫 150 3 举报帖子
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请问一下,我要用剥离法得到器件结构,然后因为事情耽搁,曝光显影一个星期了,还能镀薄膜然后剥离吗?这样剥离之后性能会不会受到很大影响?或者我把显影之后的光刻胶溶掉?重新曝光可以吗?

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  • 精华评论
  • 草也花开

    保险方法是把光刻胶洗掉后,重新匀胶做光刻,镀膜

  • 小孩儿0123

    如果 安全放置, 如 黄光室 一般问题不大

  • bobo201266

    作业金属前,建议用氧打下表面。

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