如题 返回小木虫查看更多
·
可以用正己烷稀释，然后旋涂试试
旋涂高转速完全可以70以下，假如想把膜取下来，先旋涂一层光刻胶（不曝光）,再上PDMS，等PDMS固化后，最后加溶剂，膜就浮上来了 多试几次不同转速就能控制厚度
难了
.我们可以做到20um
返回小木虫查看更多
京公网安备 11010802022153号
笑啥
，
·
可以用正己烷稀释，然后旋涂试试
旋涂高转速完全可以70以下，假如想把膜取下来，先旋涂一层光刻胶（不曝光）,再上PDMS，等PDMS固化后，最后加溶剂，膜就浮上来了
多试几次不同转速就能控制厚度
难了
.我们可以做到20um