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求助,我最近准备从事与硅相关的蚀刻工艺研究

作者 15083477527
来源: 小木虫 6550 131 举报帖子
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求助各位师兄师姐们推荐一下入门的文章或相关书籍!万分感谢!
PS:纯机械专业,已经看过一些文献但还是看的云里雾里的。不知该如何下手!

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